VDM-2陶瓷膜片真空傳感器
| 真空測量 |

測量范圍
0.1至1333毫巴
采用陶瓷膜片傳感器，實現與氣體種類無關的精準測量

卓越耐腐蝕性
兼容多種酸類和溶劑

多樣化控制選項
配備模擬/數字接口及過程控制設定點繼電器

即插即用替換方案
引腳與輸出信號兼容其他廠商的鋼制壓電傳感器

VDM-2陶瓷膜片真空傳感器采用耐腐蝕氧化鋁膜片設計，其形變程度與所受壓力呈函數關系。核心壓力傳感元件運用壓阻式測量原理，可不受氣體類型或成分影響，實現精準真空壓力測量。

相較于傳統采用油浸式傳感元件的不銹鋼壓電傳感器，VDM-2的陶瓷壓電傳感元件保持潔凈干燥狀態，徹底杜絕真空系統污染風險。

電容式膜片規的替代方案
電容式膜片規（CDGs）廣泛應用于各類先進工藝的真空測量與控制領域。VDM-2傳感器作為傳統1000托/毫巴全量程電容式膜片規的經濟型緊湊替代方案，具有顯著優勢。

VDM-2測量范圍與嚴苛環境適應性
VDM-2專為存在腐蝕性氣體和化學物質的嚴苛真空環境設計。氧化鋁陶瓷膜片具有卓越的耐腐蝕特性，可耐受多種溶劑和酸類的侵蝕。

可選防護配置

1. 聚對二甲苯防護涂層：
   該特殊聚合物涂層具有優異的耐腐蝕性和疏水特性，特別適用于醫療應用場景，如凍干工藝和醫療器械的過氧化氫等離子滅菌。
2. 防護擋板選件：
   針對存在宏觀顆粒物的真空系統和工藝，可有效阻隔污染物在傳感器膜片上的沉積。

卓越的機械強度
氧化鋁傳感元件結構堅固，可承受瞬時通風和最高2巴絕對壓力（29磅/平方英寸絕對壓力）的過壓工況。

先進真空工藝的測量與控制
VDM-2傳感器以卓越的性價比，為工業與科研領域的前級真空壓力監測提供理想解決方案。該產品兼具模擬與數字輸出功能，為多樣化真空控制應用提供靈活而精確的測量手段。

VDM-2傳感器配備RS-232和RS-485串行接口，可實現長距離無損信號傳輸，有效避免電纜衰減和電磁干擾的影響。

通過數字接口，用戶可進行：

• 設備診斷與預測性維護
• 服務校準與設定點配置
• 模擬輸出比例調節
• 實時真空壓力數據采集及可視化顯示

特別值得注意的是，當模擬輸出設置為100托等小量程范圍時，數字輸出仍可獨立提供高達1333毫巴（1000托）的全量程測量能力。

應用領域與市場
VDM-2陶瓷膜片真空傳感器專為先進真空工藝的可靠測量與控制而設計，適用于工業與科研領域的多種應用場景。產品提供豐富的VPM-5配置選項，可滿足不同應用的個性化需求。

主要應用場景

1. 物理氣相沉積(PVD)
   • PVD鍍膜工藝
     配備可維護擋板保護的VDM-2傳感器，可在物理氣相沉積(PVD)鍍膜應用中實現長效穩定運行。
2. 工業爐真空應用
   • 真空熱處理
     精確測量與控制熱處理過程中的真空度，可選配擋板及特殊涂層保護，滿足嚴苛工業環境需求。