VDM-3陶瓷膜片真空傳感器技術參數
測量范圍
0.1至1333毫巴
采用陶瓷膜片傳感器技術，實現與氣體種類無關的精確測量
耐腐蝕性能
可兼容多種酸類和溶劑介質
雙傳感器組合技術
? 真空絕對壓力測量
? 大氣相對壓力測量
真空系統通風控制
? 表壓測量功能
? 大氣壓力切換選項
核心技術特點
VDM-3采用耐腐蝕氧化鋁陶瓷膜片設計，其形變隨施加壓力變化。核心壓力傳感元件采用壓阻式測量技術，可不受氣體類型或成分影響，實現精準真空壓力測量。
除絕對壓力傳感器外，本產品集成大氣壓力傳感器，可測量環境壓力并生成相對于大氣壓力的真空測量信號。該大氣相對壓力測量技術，可在真空系統通風至大氣壓時實現精確的壓力控制。
相較于傳統采用油浸式傳感元件的不銹鋼壓電傳感器，VDM-3的陶瓷壓電傳感元件保持完全干燥狀態，徹底避免真空系統污染風險。
電容式膜片真空規的革新替代方案
電容式膜片真空規(CDGs)長期以來被廣泛應用于各類先進真空工藝的測量與控制領域。VDM-3傳感器以其卓越的性價比和緊湊型設計，成為傳統1000托/毫巴全量程電容式膜片規的理想替代品。
創新性功能整合
對于需要獨立大氣壓力開關的應用場景，VDM-3創新性地將真空測量與大氣壓力切換功能集成于單一設備中，顯著提升系統集成度。
嚴苛環境適應性
- 測量范圍覆蓋工業級需求
- 特殊設計的氧化鋁陶瓷膜片可耐受腐蝕性氣體和化學物質
- 對多種溶劑和酸類介質表現出優異的耐腐蝕特性
多重防護配置可選
- 聚對二甲苯(Parylene)防護涂層：
- 獨特的高分子材料具有超強耐腐蝕和疏水特性
- 特別適用于醫療設備凍干工藝和過氧化氫等離子滅菌等專業領域
- 防護擋板選件：
- 有效阻隔真空系統中的宏觀顆粒物
- 防止污染物在傳感器膜片表面沉積
卓越的機械可靠性
氧化鋁傳感元件采用強化設計，具備出色的抗沖擊能力，可承受：
- 瞬時通風工況
- 最高2巴絕對壓力(29磅/平方英寸)的過壓條件
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 0.1 to 1333 mbar (0.1 to 1000 Torr) |
| Measuring principle | Ceramic diaphragm piezo resistive |
| Accuracy 100 to 1333 mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 1 to 99.9 mbar | 0.05% of full scale (1333 mbar) |
| Hysteresis 0.1?to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1200 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 560 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 1 to 1333 mbar (0.75 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA?Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -40 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 2 bar absolute (29 psia) |
| Burst pressure(4) | 4 bar absolute (58 psia) |
| Mounting position | Arbitrary |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 240 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Viton?, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton?, Parylene |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |
