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VDM-5 DiCAP™ 膜片式真空變送器

雙膜片傳感器技術(shù)
? 5.0E-3至1333毫巴寬量程測量
? 氣體類型無關(guān)的精確測量

卓越的耐腐蝕性能
? 可選陶瓷或聚對二甲苯(Parylene)傳感器保護涂層
? 適用于腐蝕性氣體和惡劣工藝環(huán)境

靈活的接口配置
? 數(shù)字接口（便于系統(tǒng)集成）
? 模擬量輸出（兼容傳統(tǒng)系統(tǒng)）
? 設(shè)定點繼電器（用于過程控制）

高性價比解決方案
? 單臺設(shè)備集成雙電容式膜片規(guī)功能
? 降低系統(tǒng)復雜性和總體擁有成本

典型應用
? 半導體工藝設(shè)備
? 真空鍍膜系統(tǒng)
? 分析儀器
? 科研實驗裝置

VDM-5 DiCAP™傳感器以一體式測量方案為各類真空應用樹立新標桿。其5.0E-3至1333毫巴的氣體類型無關(guān)測量范圍兼具成本效益，使之在眾多真空計中脫穎而出。

在氣體成分可能變化的真空環(huán)境中，傳統(tǒng)依賴氣體類型的皮拉尼真空計常出現(xiàn)測量偏差。VDM-5采用精密電容式薄膜規(guī)（CDG）傳感器，徹底消除氣體依賴性，即使氣體特性發(fā)生變化也能確保測量精準。

重新定義真空測量
VDM-5 DiCAP™ 是一款創(chuàng)新的多傳感器真空計，既能提升傳統(tǒng)皮拉尼真空計應用的性能，也可作為經(jīng)濟高效的一體化解決方案，替代分立的電容式壓力計與皮拉尼真空計組合。

勝任嚴苛工況的卓越性能
面對腐蝕性或活性氣體的應用環(huán)境，DiCAP™可選配共形保護鍍層，形成有效防護屏障。

VDM-5 DiCAP™傳感器系列提供陶瓷或聚對二甲苯（Parylene）可選保護層，確保傳感材料免受腐蝕氧化威脅：

• 陶瓷層：具有卓越的耐腐蝕特性，是電容式薄膜規(guī)真空傳感器膜片的可靠材質(zhì)
• 聚對二甲苯：這種獨特聚合物兼具超強耐腐蝕性與疏水性，特別適用于凍干滅菌、過氧化氫消毒等醫(yī)療應用

針對存在顆粒物威脅的真空工藝，DiCAP™傳感器可加裝防護擋板阻隔宏觀顆粒。結(jié)合多重保護鍍層選項，該系列產(chǎn)品專為在挑戰(zhàn)性真空環(huán)境中穩(wěn)定運行而設(shè)計。

應用與市場
VDM-5 DiCAP™ 專為先進真空工藝的可靠測量與控制而設(shè)計，適用于工業(yè)與科學領(lǐng)域的多種應用。我們提供多種 VDM-5 配置方案，以滿足不同應用場景的多樣化需求。

物理氣相沉積 (PVD)
PVD 鍍膜
配備可維護擋板保護的 VDM-5，能在物理氣相沉積 (PVD) 鍍膜應用中實現(xiàn)長效穩(wěn)定運行。

真空爐應用
真空熱處理
在真空熱處理過程中精確測量與控制真空度。工業(yè)應用可選配擋板及鍍層保護組件。

太空環(huán)境模擬
太空模擬
在模擬極端太空環(huán)境時，精準測量真空氣體壓力。

真空蒸餾
蒸餾工藝
用于氫氣儲罐及輸送管道中絕緣真空的測量與監(jiān)測。

半導體行業(yè)
半導體制造
適用于化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD) 及半導體前級管線的真空測量?？蛇x配陶瓷抗腐蝕傳感器。

等離子滅菌
過氧化氫滅菌
利用雙傳感器一體化設(shè)計，為過氧化氫滅菌工藝提供全面測量解決方案。