雙隔膜傳感器
5.0E-3至1333毫巴測量范圍，適用于與氣體類型無關的測量
耐腐蝕性
可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護
數字與模擬接口
通過數字接口、模擬輸出及設定點繼電器實現靈活系統集成
大氣壓力切換
相對于大氣壓力的測量，確保通風循環的精準控制
VDM-7 DiCAP™ ATM雙傳感器真空變送器
VDM-7 DiCAP™ ATM變送器采用雙傳感器設計，樹立了新的行業標準。相比其他真空計，其優勢在于提供經濟高效、與氣體類型無關的測量，范圍覆蓋?5.0E-3 至 1333 mbar。此外，它還能進行相對于環境壓力的附加測量，從而實現對真空系統排氣過程的精準控制。
重新定義真空測量
VDM-7 DiCAP™ ATM 是一款創新的多傳感器真空計，既能替代傳統皮拉尼真空計并顯著提升其性能，也可作為經濟高效的一體化解決方案，取代以往需要電容式壓力傳感器和皮拉尼真空計組合使用的應用場景。
VDM-7真空變送器的核心技術優勢
VDM-7采用與廣受好評的VPM-7真空變送器相同的大氣壓力傳感技術（專為負載鎖定應用設計）。通過氣壓傳感器與壓電式絕對真空傳感器的組合，可提供相對于大氣壓力的精準信號，從而實現真空系統排氣循環的精確控制。
嚴苛工況的應對方案
針對腐蝕性/活性氣體環境，DiCAP™系列可提供特殊防護涂層作為有效屏障：
- 陶瓷保護層
具有卓越的耐腐蝕性，是電容式薄膜規（CDG）真空傳感器膜片的可靠材質選擇 - 聚對二甲苯（Parylene）涂層
這種獨特聚合物兼具超強耐腐蝕性與疏水性，特別適用于凍干工藝和過氧化氫滅菌等醫療應用
對于存在顆粒物污染的真空工藝，DiCAP™變送器可選配防護擋板以阻擋宏觀顆粒。結合上述防護涂層方案，該系列產品能在最具挑戰性的真空環境中保持穩定性能。
在氣體成分或類型可能變化的真空應用中，傳統的氣體依賴性皮拉尼（Pirani）真空計通常會產生與實際壓力較大的測量偏差。而 VDM-7 變送器采用高精度電容式薄膜規（CDG）傳感器，徹底消除了氣體依賴性，即使氣體性質發生變化，也能提供精確的測量結果。
VDM-7 DiCAP™ ATM 真空變送器專為先進真空工藝的可靠測量與控制而設計，廣泛適用于工業與科研領域的多種應用場景。我們提供豐富的VDM-7配置選項，以滿足不同應用的多樣化需求。
典型應用領域
PVD鍍膜
配備可維護擋板保護的VDM-5型號，特別適用于物理氣相沉積（PVD）鍍膜工藝，確保設備長期穩定運行。
真空熱處理
精準測量與控制真空熱處理過程中的壓力變化。工業級應用可選配擋板及防護涂層方案。
空間環境模擬
為模擬極端太空環境提供精確的真空氣體壓力測量解決方案。
真空蒸餾
用于氫氣儲罐及輸送管道絕緣真空的測量與監控。
半導體制造
適用于化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）及前置真空測量?？蛇x配耐腐蝕陶瓷傳感器。
等離子滅菌
創新的雙傳感器一體化設計，為過氧化氫（H?O?）滅菌工藝提供完整的真空測量方案。
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 5E-3 to 1333 mbar (3.75E-3 to 1000 Torr) |
| Measuring principle 5E-3 to 3.99?mbar | Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) |
| Measuring principle 4?to 5.99?mbar | Blended CDG / Piezo Diaphragm |
| Measuring principle 6?to 1333?mbar | Piezo Diaphragm |
| Accuracy 5E-3 to 9.99E-3 mbar | 5% of reading |
| Accuracy 1E-2?to 799?mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 800?to 1099?mbar | 0.25% of reading |
| Accuracy 1100 to 1333 mbar | 0.5% reading |
| Hysteresis 1E-3 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1333 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 124 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 5E-6 to 1333 mbar (3.75E-6 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA?Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -20 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 4 bar absolute |
| Mounting position | Arbitrary (4) |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 350 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, , AI2O3, gold, Viton?, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305,?vitreous silica |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton?, Parylene |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected version | 316 Stainless steel, Viton?, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |