超寬量程
采用MEMS皮拉尼與隔膜傳感器組合技術(shù)，實現(xiàn)1.0E-6至1333毫巴的寬泛量程
卓越耐腐蝕性
可選配陶瓷或派瑞林傳感器保護涂層
氣體類型無關(guān)測量
雙隔膜傳感器實現(xiàn)5E-3至1333毫巴精確測量
CDG自動零點校準
CDG AutoZero功能徹底免除手動調(diào)零操作
VPM-15 TriCAP™ 傳感器以一體化寬量程測量方案為各類真空應(yīng)用樹立新標桿。相較于傳統(tǒng)真空計，其優(yōu)勢在于：
- 經(jīng)濟高效，提供?5.0E-3 至 1333 毫巴?的氣體類型無關(guān)測量
- 結(jié)合熱損耗原理，可擴展至?1E-6 毫巴?的超高真空測量
在氣體成分可能變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)依賴氣體類型的皮拉尼計可能導(dǎo)致實際壓力測量偏差。TriCAP™ 傳感器采用高精度電容式隔膜規(guī)（CDG），徹底消除氣體依賴性，即使氣體屬性變化也能確保精準測量。
VPM-15 TriCAP™?是一款創(chuàng)新的多傳感器真空計，既能提升傳統(tǒng)皮拉尼計的性能，也可作為經(jīng)濟高效的一體化解決方案，替代分立的電容式壓力計和皮拉尼計組合。
VPM-15測量范圍
CDG 自動零點校準
集成?MEMS 皮拉尼熱損耗傳感器，將量程擴展至?1E-6 毫巴，并為電容式壓力計提供創(chuàng)新的自動零點校準功能，徹底避免傳統(tǒng)電容隔膜規(guī)需手動調(diào)零的麻煩。無需按鍵操作——只需抽真空至自動調(diào)零點，CDG 即可自動完成校準并立即投入使用。
應(yīng)對嚴苛應(yīng)用的挑戰(zhàn)
在可能接觸腐蝕性或活性氣體的應(yīng)用中，TriCAP™ 提供防護涂層選項，有效隔離氣體侵蝕。
TriCAP™ 傳感器系列可選配陶瓷或派瑞林（Parylene）保護層，防止傳感器材料腐蝕或氧化：
- 陶瓷具有極強的耐腐蝕性，是電容隔膜規(guī)真空傳感器膜片的可靠材料。
- 派瑞林是一種獨特的高分子材料，兼具卓越的耐腐蝕性與疏水性，適用于醫(yī)療應(yīng)用（如凍干和滅菌）。
某些真空工藝中，顆粒物可能對真空計造成損害。針對此類需求，TriCAP™ 可加裝防護擋板，阻隔宏觀顆粒。結(jié)合防護涂層選項，TriCAP™ 傳感器專為極端真空環(huán)境打造。
模擬輸出
提供多種模擬輸出量程選項，可兼容其他廠商的真空計和傳感器。此外，可選配第二路模擬輸出，用于同時監(jiān)測全量程真空壓力及相對于大氣壓的壓力信號。
模擬輸出電壓可為外部讀取或控制提供信號。VPM-15 標準配置為?1V DC/十倍程?輸出（單位可選毫巴、托或帕斯卡），滿足多樣化測量需求。
數(shù)字連接
RS-232?和?RS-485?串行接口可將壓力與溫度測量數(shù)據(jù)傳輸至外部設(shè)備。
該數(shù)字接口支持以下功能：
- 設(shè)備診斷與預(yù)測性維護
- 遠程校準及設(shè)定點配置
- 模擬輸出量程調(diào)節(jié)
- 實時真空壓力數(shù)據(jù)采集（用于屏幕可視化顯示）
可靠設(shè)定點繼電器控制
配備三個獨立固態(tài)開關(guān)繼電器，可精準控制外部設(shè)備（如真空泵、閥門及安全聯(lián)鎖電路）。
核心優(yōu)勢：
- 相比傳統(tǒng)機電繼電器，具備更高可靠性與更快切換速度
- 無電弧觸點設(shè)計，切換過程零電磁干擾（EMI）
認證保障：
TriCAP™繼電器通過：
- UL認證
- CSA認可
- EN/IEC 60950-1標準認證
專為高耐久性設(shè)計，確保關(guān)鍵真空工藝及高頻次應(yīng)用的控制安全。
VPM-5 SmartPirani™?專為先進真空工藝的可靠測量與控制而設(shè)計，適用于工業(yè)與科研領(lǐng)域的多種應(yīng)用場景。我們提供豐富的?VPM-5 配置選項，以滿足不同應(yīng)用的多樣化需求。
典型應(yīng)用包括：
- 工業(yè)領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐工藝控制
- 科研領(lǐng)域：實驗室真空系統(tǒng)、分析儀器配套
- 特殊環(huán)境：腐蝕性氣體監(jiān)測、高精度壓力控制