超寬測量范圍
1.0E-6至1333毫巴的9個量程，其中5E-3至1333毫巴區間支持氣體類型無關測量
創新四重傳感器組合
MEMS皮拉尼、電容薄膜、壓電薄膜與大氣壓傳感器的智能融合
CDG自動調零功能
自動歸零技術徹底免除了手動調校需求
大氣參考開關模式
基于大氣壓的相對測量實現真空系統精確排氣控制
VPM-17 TriCAP™ ATM真空傳感器樹立了全新標桿，為廣泛真空應用提供一體化測量解決方案。與傳統真空計不同，該設備不僅具備5.0E-3至1333 mbar的氣體類型無關型經濟測量范圍，還集成可低至1E-6 mbar的皮拉尼熱損耗測量能力。
在氣體成分可能變化的真空應用中，傳統依賴氣體類型的皮拉尼規易導致測量誤差。TriCAP™ ATM傳感器采用精密電容式薄膜規（CDG）技術，徹底消除氣體依賴性，即使氣體特性變化也能確保測量精準度。
除真空測量外，VPM-17還能實現相對于大氣壓的差壓測量，為真空系統排氣過程提供精確控制。
重新定義真空測量標準
TriCAP™ ATM真空計開創性地采用多傳感器融合技術，既能作為傳統皮拉尼規應用的性能升級方案，又可替代分立的電容式壓力計與皮拉尼規組合，提供高性價比的一體化測量解決方案。
CDG自動零點校準技術
集成的MEMS皮拉尼熱損耗傳感器將測量范圍擴展至1E-6 mbar，并為電容式壓力計引入創新性自動零點校準功能，徹底消除了傳統電容薄膜規需手動調零的操作需求。無需按鍵調零——僅需抽真空至自動校準點，電容薄膜規即自動完成校準，隨時提供精確測量。
嚴苛工況應對方案
針對可能接觸腐蝕性或活性氣體的應用場景，TriCAP™可選配共形保護涂層作為高效防護屏障。
該系列傳感器還可選配陶瓷或派瑞林（Parylene）防護層：
- 陶瓷層具有卓越的耐腐蝕性，廣泛用于電容薄膜規的真空傳感器膜片
- 派瑞林作為一種特種聚合物，兼具優異耐腐蝕性與疏水性，特別適合冷凍干燥、滅菌等醫療應用
在存在顆粒污染的真空工藝中，TriCAP™可加裝防護擋板阻隔宏觀顆粒。結合上述防護涂層選項，該系列傳感器專為耐受極端真空環境而設計。
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 1E-6 to 1333 mbar (7.5E-7 to 1000 Torr) |
| Measuring principle 1E-6 to 1E-3 mbar | MEMS Pirani thermal conductivity |
| Measuring principle 1E-3 to 5E-3?mbar | Blended MEMS Pirani / CDG |
| Measuring principle 5E-3 to 3.99?mbar | Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) |
| Measuring principle 4?to 5.99?mbar | Blended CDG / Piezo Diaphragm |
| Measuring principle 6?to 1333?mbar | Piezo Diaphragm |
| Accuracy 1E-5 to?9.99E-5 mbar | 25% of reading |
| Accuracy 1E-4 to 9.99E-3 mbar | 5% of reading |
| Accuracy 1E-2?to 799?mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 800?to 1099?mbar | 0.25% of reading |
| Accuracy 1100 to 1333 mbar | 0.5% reading |
| Barometric measurement range | 300 to 1200 mbar |
| Barometric accuracy | +/- 0.5 mbar |
| Atmospheric referenced pressure output range | – 1333 to + 1333 mbar |
| Hysteresis 1E-3 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1333 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 124 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 5E-6 to 1333 mbar (3.75E-6 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA?Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -20 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 4 bar absolute |
| Mounting position | Arbitrary (4) |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 350 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, nickel, aluminum, SiO2, Si3N4, AI2O3, gold, Viton?, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305,?vitreous silica |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton?, Parylene |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected version | 316 Stainless steel, Viton?, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |