sens4 VPM-7 SmartPirani™ ATM真空傳感器
超寬測量范圍
從1.0E-6至1333毫巴，覆蓋9個數量級
大氣切換功能
精確控制真空系統排氣壓力
氣體類型無關測量
膜片傳感器測量范圍2至1333毫巴
負載鎖腔設計
集成式一體化負載鎖腔壓力控制解決方案
VPM-7 SmartPirani™ ATM真空傳感器專為半導體負載鎖腔精密壓力控制及其他需要精確測量相對于大氣環境壓力的真空應用而設計。
它提供業界領先的性能，相比傳統負載鎖腔傳感器及其他解決方案，具備更寬的測量范圍、更高的精度以及更快的測量周期。
SmartPirani™ ATM通過將熱傳導式皮拉尼（Pirani）熱損失真空計的可用測量范圍擴展1-3個數量級，樹立了新的行業標準。
VPM-7-10101232?
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- mbar
- Std. Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
VPM-7-10201232
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-485 Interface
- mbar
- Std. Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
VPM-7-10102132
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- torr
- MKS 900 Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
VPM-7-40102132
- VCR4F Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- torr
- MKS 900 Analog Output
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. D-Sub
一體化多傳感器集成解決方案
VPM-7是真正的多傳感器真空變送器，提供四種壓力輸出模式：環境氣壓傳感器、寬量程皮拉尼熱損耗傳感器、絕對膜片傳感器，以及相對于大氣壓的差分信號。多傳感器協同工作，為現代負載鎖真空腔體提供精準優化的壓力控制。其中膜片傳感器可提供2至1333毫巴（1.5至1000托）范圍內與氣體種類無關的高精度絕對壓力讀數。
VPM-7應用領域
負載鎖腔是將半導體晶圓等器件從常壓環境傳輸至真空工藝腔的關鍵過渡真空腔體。其工作壓力需在常壓與晶圓傳輸所需真空度之間精確循環切換。精準的壓力控制能有效隔絕環境空氣與顆粒污染，同時保護工藝腔體與晶圓安全。
負載鎖工藝的測量與控制專家
VPM-7 SmartPirani™ ATM專為真空氣體壓力的頂級測控需求打造。其多元輸出功能不僅提供壓力信號，更集成了：
- 大氣參考基準自動補償
- 全量程無縫切換技術
- 工藝階段智能識別功能
可靠的設定點繼電器控制
VPM-7配備三組獨立固態開關繼電器，可精準控制負載鎖腔的壓力循環流程，包括：
- 真空泵組啟停
- 氣動閥門開關
- 安全聯鎖電路觸發
- PLC系統協同控制
固態繼電器的技術優勢
相比傳統機械繼電器，VPM-7的固態方案具有：
? 無電弧觸點設計
? 零電磁干擾(EMI)產生
? 開關速度提升10倍*
? 超長使用壽命（>10億次操作*）
嚴苛認證保障
SmartPirani™ ATM繼電器通過：
? UL認證
? CSA認可
? EN/IEC 60950-1安全認證
專為高循環頻次的真空工藝（如半導體晶圓傳輸）提供持久可靠的工業級控制性能
空間環境模擬
VPM-7可在太空極端環境模擬實驗中實現：
? 10^-6毫巴級高真空精確測量
? 熱循環與真空環境聯動控制
? 航天器件測試的可靠壓力監控
質譜分析儀器
VPM-7為質譜儀提供：
? 電離室超低壓精準監測（低至10^-6毫巴）
? 進樣系統大氣壓差分測量
? 分子泵組智能啟停控制
半導體制造
VPM-7在晶圓傳輸負載鎖中實現：
? 毫秒級壓力切換響應
? 兼容Ar/N2等工藝氣體
? 即插即用替換主流品牌傳感器
電子顯微鏡
VPM-7解決方案包含：
? 樣品室真空度實時監測
? 環境氣壓補償功能
? 防震設計適應高分辨率成像