丹麥 SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器

丹麥 SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器

SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM傳感器專為半導(dǎo)體負載鎖緊、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用而設(shè)計，在這些應(yīng)用中，相對于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測量非常重要。

1×10-6?至 1333 mbar / 7.5×10-7?至 1000 Torr / 1×10-4?至 1.333×105 Pa

SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器用于負載鎖定控制的下一代真空傳感器

用于負載鎖的 SMARTPIRANI™ ATM 傳感器

帶大氣開關(guān)、數(shù)字和模擬接口的真空壓力傳感器

SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器

    • 測量范圍 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
    • 超寬量程和高性能同類最佳?MEMS 皮拉尼傳感器
    • 精密氣體非依賴型隔膜傳感器，壓力范圍為 2 至 1333 mbar。
    • 大氣切換功能和表壓測量輸出
    • 數(shù)字?RS-232 或 RS-485 接口和可編程電壓輸出。
    • 三個固態(tài)設(shè)定點，實現(xiàn)可靠的過程控制
    • 多色 LED，用于直觀地指示測量的壓力水平
    • 用戶可通過 RS-232、RS-485 或?S4-Connect™?進行編程
    • 堅固的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計
    • 引腳和輸出與其他供應(yīng)商的儀表兼容

與傳統(tǒng)的負載鎖傳感器和其他負載鎖傳感器解決方案相比，它具有更寬的測量范圍、更高的精度和更快的測量周期，具有一流的性能。

SENS4 SmartPirani ATM基于一項正在申請專利的技術(shù)，該技術(shù)通過將皮拉尼熱損失真空計的熱導(dǎo)率測量范圍延長1-3個十年，建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

多合一多傳感器傳感器解決方案

SENS4 VPM-7 是一款真正的多傳感器，具有四個壓力輸出，結(jié)合了氣壓環(huán)境傳感器、寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、絕對隔膜傳感器和相對于大氣壓的信號，以優(yōu)化現(xiàn)代負載鎖真空室的壓力控制。隔膜傳感器讀數(shù)與氣體無關(guān)，絕對壓力為 2 至 1333 mbar。

SmartPirani ATM壓力范圍圖負載鎖是一種真空室，用于將半導(dǎo)體晶圓等設(shè)備從環(huán)境氣壓加載到真空處理室。負載鎖通常在大氣氣壓環(huán)境壓力和將晶圓轉(zhuǎn)移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環(huán)。精確控制負載鎖真空室中的壓力對于防止環(huán)境空氣和顆粒污染負載鎖和晶圓至關(guān)重要。

可編程設(shè)置和參數(shù)

用戶可以對傳感器設(shè)置和參數(shù)進行編程，以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用參數(shù)。

數(shù)字串行接口支持診斷、預(yù)測性維護、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。

模擬電壓輸出

用戶可以通過 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應(yīng)商的真空計和傳感器。可選的輔助模擬輸出可對全范圍真空壓力和相對于大氣壓的壓力信號進行外部監(jiān)測。

用于壓力指示的新型 RGB LED

SENS4 SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過多色LED直觀地確定測量的壓力，該LED在整個壓力范圍內(nèi)平滑地改變顏色。這種可選的視覺功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測量壓力的粗略視覺指示。如果真空系統(tǒng)加壓超過環(huán)境壓力，它還會提供清晰的視覺警告。

Loadlock 真空加壓循環(huán)和控制

SENS4 可靠而穩(wěn)健的壓力控制

為了優(yōu)化負載鎖定性能，需要準(zhǔn)確可靠地控制多個壓力參數(shù)。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個獨立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負載鎖門。

與傳統(tǒng)的機電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關(guān)時間，同時提供無電弧觸點，并且在開關(guān)觸點時不會產(chǎn)生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用，并通過了 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)負載鎖定應(yīng)用時具有最大的信心。


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