丹麥 SENS4 A/S VPM-7 SMARTPIRANI™ ATM寬量程真空傳感器

VPM-7 SmartPirani™ ATM傳感器專為半導體負載鎖緊、精密壓力控制和其他真空應用而設計，在這些應用中，相對于大氣環境壓力的精確壓力測量非常重要。

1×10-6?至 1333 mbar / 7.5×10-7?至 1000 Torr / 1×10-4?至 1.333×105 Pa

用于負載鎖定控制的下一代真空傳感器

  • 9 個倍程的超寬測量范圍

  • 精密大氣開關功能

  • 用于控制的可靠固態繼電器

  • 氣壓環境壓力測量

  • 0-10 VDC 可編程電壓輸出，支持其他供應商仿真

  • 數字 RS-232 或 RS-485 接口

  • StableZero™ 漂移補償

  • MKS 901P 的直接替代品

  • 用于診斷的真空溫度傳感器

  • RGB LED彩色壓力指示器

  • 可選耐腐蝕版本

VPM-7 真空傳感器，帶大氣壓

與傳統的負載鎖傳感器和其他負載鎖傳感器解決方案相比，它具有更寬的測量范圍、更高的精度和更快的測量周期，具有一流的性能。

SmartPirani ATM基于一項正在申請專利的技術，該技術通過將皮拉尼熱損失真空計的熱導率測量范圍延長1-3個十年，建立了新的標準。

多合一多傳感器傳感器解決方案

VPM-7 是一款真正的多傳感器，具有四個壓力輸出，結合了氣壓環境傳感器、寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、絕對隔膜傳感器和相對于大氣壓的信號，以優化現代負載鎖真空室的壓力控制。隔膜傳感器讀數與氣體無關，絕對壓力為 2 至 1333 mbar。

SmartPirani ATM壓力范圍圖負載鎖是一種真空室，用于將半導體晶圓等設備從環境氣壓加載到真空處理室。負載鎖通常在大氣氣壓環境壓力和將晶圓轉移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環。精確控制負載鎖真空室中的壓力對于防止環境空氣和顆粒污染負載鎖和晶圓至關重要。

可編程設置和參數

用戶可以對傳感器設置和參數進行編程，以控制真空系統和應用參數。

數字串行接口支持診斷、預測性維護、維修、校準、設定值配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費、直觀的配置軟件相結合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。

模擬電壓輸出

用戶可以通過 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內放大信號。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應商的真空計和傳感器。可選的輔助模擬輸出可對全范圍真空壓力和相對于大氣壓的壓力信號進行外部監測。

用于壓力指示的新型 RGB LED

SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過多色LED直觀地確定測量的壓力，該LED在整個壓力范圍內平滑地改變顏色。這種可選的視覺功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測量壓力的粗略視覺指示。如果真空系統加壓超過環境壓力，它還會提供清晰的視覺警告。

Loadlock 真空加壓循環和控制

可靠而穩健的壓力控制

為了優化負載鎖定性能，需要準確可靠地控制多個壓力參數。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個獨立的固態開關繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負載鎖門。

與傳統的機電繼電器相比，固態繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關時間，同時提供無電弧觸點，并且在開關觸點時不會產生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經久耐用，并通過了 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關鍵真空過程和高循環負載鎖定應用時具有最大的信心。

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