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丹麥 SENS4 VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空傳感器

丹麥 SENS4 VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空傳感器

VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空傳感器

1×10-6?至 13 毫巴 / 7.5×10-7?至 10 托 / 1×10-4?至 1.333×10+3 帕

下一代 MEMS 皮拉尼傳感器

  • 測量范圍為 1×10-6?至 13.33 mbar（7.5×10-7?至 10 Torr）
  • 超寬范圍高性能 MEMS 皮拉尼傳感器
  • 先進(jìn)的創(chuàng)新數(shù)字信號處理
  • 可安裝在任何方向，而不會影響性能。
  • 可編程電壓輸出信號，可與其他供應(yīng)商仿真
  • 數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口
  • 低壓真空開關(guān)
  • 用于真空過程控制的三個(gè)固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
  • 10 bar （145 psi） 的高過壓容限
  • 堅(jiān)固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計(jì)

SENS4 VPM-4 SmartPirani™ LT 傳感器基于創(chuàng)紀(jì)錄的 VPM-5 SmartPirani™ 傳感器中使用的熱損失傳感器技術(shù)，提供 13 至 1E-6 mbar（10 至 7.5E-7 torr）的測量范圍。

傳感器技術(shù)通過將熱導(dǎo)式真空計(jì)的可用測量范圍延長了 1-3 個(gè)數(shù)量級，建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

SENS4 SmartPirani™ 基于尖端的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，結(jié)合了新穎的精密數(shù)字信號處理架構(gòu)和只有 Sens4 才能提供的先進(jìn)創(chuàng)新測量算法。

SENS4 SmartPirani™ LT 擴(kuò)展的測量范圍使其能夠在傳統(tǒng)上由熱陰極電離計(jì)或冷陰極電離計(jì)主導(dǎo)的范圍內(nèi)使用。SmartPirani LT 針對低量程測量性能進(jìn)行了優(yōu)化，測量上限可達(dá) 13 mbar （10 Torr）。

SENS4 SmartPirani™ 傳感器系列還包括全系列 VPM-5 SmartPirani™，可提供 2 至 1333 mbar 的氣體獨(dú)立測量，以及?VPM-7 SmartPirani™?ATM，此外還提供大氣開關(guān)功能。

可編程傳感器設(shè)置和參數(shù)

傳感器設(shè)置和參數(shù)可由用戶通過 PC 或智能手機(jī)通過數(shù)字通信接口進(jìn)行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可以通過串行接口或 S4-Connect™ 接口進(jìn)行配置。數(shù)字界面支持診斷、預(yù)測性維護(hù)、服務(wù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放和實(shí)時(shí)真空壓力測量采集，以實(shí)現(xiàn)屏幕可視化。S4-Connect™ USB 編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實(shí)時(shí)測量和診斷的即插即用解決方案。


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