SENS4

丹麥 SENS4 VPM-5 真空壓力傳感器,SMARTPIRANI™ 寬量程皮拉尼傳感器

丹麥 SENS4 VPM-5 真空壓力傳感器,SMARTPIRANI™ 寬量程皮拉尼傳感器

Sens4 開發(fā)、制造和銷售用于工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用的真空、壓力和溫度測量和控制的可編程傳感器和變送器。

VPM-5 SmartPirani™ 真空傳感器基于尖端技術(shù)，提供一流的性能，并通過將熱導(dǎo)率真空計的可用真空測量范圍延長 1-3 個數(shù)量級，建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)。

SMARTPIRANI™ 寬量程皮拉尼傳感器

可編程精密真空壓力傳感器，帶數(shù)字和模擬接口

Sens4 VPM-5 真空壓力傳感器

  • 測量范圍 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
  • 超寬量程和高性能同類最佳?MEMS 皮拉尼傳感器
  • 精密氣體非依賴型隔膜傳感器，壓力范圍為 2 至 1333 mbar。
  • 可編程電壓輸出和數(shù)字?RS-232 或 RS-485 接口
  • 用于過程控制的三個固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
  • 用戶可通過 RS-232、RS-485 或?S4-Connect™?進(jìn)行編程
  • 堅固的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計
  • 可選耐腐蝕傳感器
  • 引腳和輸出與其他供應(yīng)商的儀表兼容

下一代MEMS PIRANI換能器

  • 測量范圍為 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
  • 超寬范圍高性能MEMS Pirani傳感器
  • 無可比擬的性價比
  • 2 至 1333 mbar 的精密氣體獨(dú)立測量
  • 可安裝在任何方向，不影響性能。
  • 可編程電壓輸出信號，支持其他供應(yīng)商仿真
  • 數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口
  • 用于真空過程控制的三個固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
  • 可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護(hù)，適用于腐蝕性應(yīng)用
  • MKS 925 MicroPirani™ 和 910 的直接替代品
  • 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計

Sens4 SmartPirani™ 真空測量傳感器采用尖端的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，結(jié)合了新穎的精密數(shù)字信號處理架構(gòu)和只有 Sens4 才能提供的先進(jìn)創(chuàng)新測量算法。結(jié)合精密的自動化制造和校準(zhǔn)過程，這款獨(dú)特的產(chǎn)品可提供不折不扣的測量性能。

SmartPirani 測量范圍（mbar）

通過集成MEMS膜片傳感器，消除了熱導(dǎo)率計在粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性，該傳感器的精度性能可與更昂貴的電容壓力計相媲美。此功能可確保更精確地控制真空系統(tǒng)排氣過程，并防止真空系統(tǒng)過度加壓。

無可比擬的范圍和精度

Sens4與其他供應(yīng)商的傳統(tǒng)導(dǎo)線皮拉尼和MEMS 皮拉尼傳感器相比，SmartPirani™的基本精度和動態(tài)范圍更勝一籌。在某些應(yīng)用中，超寬的測量范圍消除了對額外昂貴的高真空電離計的需求。

SmartPirani 范圍和精度比較

可編程傳感器設(shè)置和參數(shù)

Sens4 用戶可通過創(chuàng)新的 S4-Connect™ 數(shù)字通信接口從 PC 或智能手機(jī)對傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可以通過串行接口或 S4-Connect™ 接口進(jìn)行配置。數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實(shí)時真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。S4-Connect™ USB 編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實(shí)時測量和診斷的即插即用解決方案。

通過可靠而穩(wěn)健的設(shè)定點(diǎn)繼電器控制來控制真空壓力

Sens4 SmartPirani™ 真空傳感器配有三個獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可用于泵、閥門、安全聯(lián)鎖電路和其他外部設(shè)備的外部控制。基本控制使用具有可編程設(shè)定點(diǎn)和遲滯值的開/關(guān)調(diào)節(jié)。每個固態(tài)繼電器都提供常閉和常開觸點(diǎn)。

與機(jī)電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有更高的可靠性和更快的開關(guān)時間，同時提供無電弧觸點(diǎn)，并且在開關(guān)觸點(diǎn)時不會產(chǎn)生 EMI（電磁干擾）。

Sens4 SmartPirani™ 繼電器經(jīng)久耐用，已通過 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)應(yīng)用時具有最大的信心。

對于需要大氣開關(guān)功能的應(yīng)用，如負(fù)載鎖真空系統(tǒng)，VPM-7 SmartPirani™ ATM?提供與 VPM-5 相同的性能、特性和功能，但具有額外的精密大氣開關(guān)功能。

用于外部讀數(shù)的模擬電壓輸出

Sens4 SmartPirani™真空傳感器具有好的的功能和智能技術(shù)，但該傳感器可以作為獨(dú)立的模擬設(shè)備運(yùn)行，提供電壓和返回測量信號。模擬電壓輸出可通過 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號。

此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應(yīng)商的真空計和傳感器。

自定義設(shè)置

Sens4 SmartPirani™真空傳感器可以定制配置，以滿足特定的應(yīng)用要求。預(yù)配置選項的示例包括測量范圍、真空壓力單位、設(shè)定值配置和輸出信號縮放。定制產(chǎn)品將被分配一個唯一的零件編號，以便將來輕松簡單地重新訂購。

Sens4 SMARTPIRANI™真空傳感器的應(yīng)用

  • 質(zhì)譜儀
  • 掃描電子顯微鏡
  • 爐膛熱處理
  • 玻璃、光學(xué)、工具、包裝、裝飾的PVD涂層
  • 制冷制造與服務(wù)
  • 半導(dǎo)體加工設(shè)備
  • 真空泵服務(wù)

SENS4 VPM-5 真空壓力傳感器guige

Specifications

Measuring range

1×10-6?to 1333 mbar (7.5×10-7?to 1000 Torr)

Measuring principle 1×10-6?to 1.5 mbar

MEMS Pirani thermal conductivity (Heat-loss)

Measuring principle 2 to 1333 mbar

MEMS piezo resistive diaphragm

Measuring principle 1.5 to 2 mbar

Blended MEMS Pirani / piezo reading

Accuracy 1×10-5?to 9.99×10-5

25% of reading

Accuracy 1×10-4?to 7.99 mbar

5 % of reading

Accuracy 8.00 to 99.9 mbar

1% of reading

Accuracy 100 to 800 mbar

0.5% of reading

Accuracy 800 to 1099 mbar

0.25 % of reading

Accuracy 1100 to 1333 mbar

0.5% of reading

Maximum measuring resolution

1.0E-7 mbar

Output signal 1

1 VDC / decade (0.5VDC at 1.0E-6 mbar)

Output signal 2 (MKS 901P, 910, 925 Emulation)

1 VDC / decade (1.0VDC at 1.0E-5 Torr)

Output signal 3 (MKS GP 275 Convectron?)

0.375 to 5.659 VDC

Output signal 4 (MKS 523)

0.5 VDC / decade (MKS 523)

Output signal 5 (Inficon PSG500, PSG502, PSG510, PSG512 )

1.9 – 10 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR91)

Output signal 6 (Leybold TTR91, TTR96, TTR101)

1.5 – 8.5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x)

Output signal 7 (MKS GP 275 Convectron?)

1.9 – 9.1 VDC

Output signal 8 (MKS GP 390 MicroIon)

0.5 VDC / decade

Output Signal 9 (MKS 971, 972, 974B)

0.5 VDC / decade (MKS 971B, 972B, 974B)

Output signal 10 (Inficon Gemini output 1)

1 VDC / decade

Output signal 11 (Inficon Gemini output 2)

1.33? VDC / decade

Output signal 12 (Inficon Gemini output 3)

0.6 VDC / decade

Output signal resolution

16 bit

Solid state relay contact rating (optional)

250 mA, 50 VDC / VAC peak

Environment conditions

Operating ambient temperature

-40 to +50 °C (-40 to +122 °F)

Media temperature

-20 to +50 °C (-58 to 122 °F)

Storage ambient temperature

-40 to +125 °C? (-40 to +257 °F)

Maximum media pressure

10 bar

Mounting position

Arbitrary

Protection rating, EN 60529/A2:2013

IP40

Humidity, IEC 68-2-38

98%, non-condensing

Power supply

Supply voltage

12-30 VDC

Power consumption

350 mW (Max)

Reverse polarity protection

Yes

Overvoltage protection

Yes

Internal fuse

100 mA (Thermal recoverable)

Materials

Vacuum process flange

316 stainless steel

Enclosure

316 stainless steel / Aluminum

Vacuum exposed materials (media wetted)

316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, nickel, aluminum, SiO2, Si3N4, gold, Viton?, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305

Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected

316 Stainless steel, Viton?, Aluminum oxide ceramic (AI2O3)

Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected

316 Stainless steel, Viton?, Parylene

Process leak tightness

<1·10-9?mbar·l/s

Approvals

CE

EMC directive 2014/30/EU

RoHS compliance

Directive EU 2015/863


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