丹麥 SENS4 VPM-5 SMARTPIRANI™ 寬量程真空壓力傳感器

1×10-6?至 1333 mbar / 7.5×10-7?至 1000 Torr / 1×10-4?至 1.333×105?Pa

VPM-5 SmartPirani™ 真空傳感器基于尖端技術(shù)，提供一流的性能，并通過將熱導(dǎo)率真空計的可用真空測量范圍延長 1-3 個數(shù)量級，建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)。

下一代MEMS PIRANI換能器

  • 測量范圍為 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
  • 超寬范圍高性能MEMS Pirani傳感器
  • 無可比擬的性價比
  • 2 至 1333 mbar 的精密氣體獨立測量
  • 可安裝在任何方向，不影響性能。
  • 可編程電壓輸出信號，支持其他供應(yīng)商仿真
  • 數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口
  • 用于真空過程控制的三個固態(tài)設(shè)定點
  • 可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護(hù)，適用于腐蝕性應(yīng)用
  • MKS 925 MicroPirani™ 和 910 的直接替代品
  • 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計

SmartPirani™ 真空測量傳感器采用尖端的?MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，結(jié)合了新穎的精密數(shù)字信號處理架構(gòu)和只有 Sens4 才能提供的先進(jìn)創(chuàng)新測量算法。結(jié)合精密的自動化制造和校準(zhǔn)過程，這款獨特的產(chǎn)品可提供不折不扣的測量性能。

SmartPirani 測量范圍（mbar）

通過集成MEMS膜片傳感器，消除了熱導(dǎo)率計在粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性，該傳感器的精度性能可與更昂貴的電容壓力計相媲美。此功能可確保更精確地控制真空系統(tǒng)排氣過程，并防止真空系統(tǒng)過度加壓。

無可比擬的范圍和精度

與其他供應(yīng)商的傳統(tǒng)導(dǎo)線皮拉尼和MEMS 皮拉尼傳感器相比，SmartPirani™的基本精度和動態(tài)范圍更勝一籌。在某些應(yīng)用中，超寬的測量范圍消除了對額外昂貴的高真空電離計的需求。

SmartPirani 范圍和精度比較

可編程傳感器設(shè)置和參數(shù)

用戶可通過創(chuàng)新的?S4-Connect™?數(shù)字通信接口從 PC 或智能手機(jī)對傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可以通過串行接口或 S4-Connect™ 接口進(jìn)行配置。數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。S4-Connect™ USB 編程器與免費、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。

支持在要求苛刻的應(yīng)用中使用

對于傳感器可能暴露于腐蝕性或腐蝕性氣體的應(yīng)用，SmartPirani™ 可提供保形保護(hù)涂層，可作為有效的屏障。

根據(jù)應(yīng)用的不同，SmartPirani™傳感器系列現(xiàn)在可提供可選的陶瓷或聚對二甲苯保護(hù)層，以防止傳感器材料的腐蝕或氧化。

陶瓷具有很強(qiáng)的耐腐蝕性，是電容膜片中真空傳感器膜片的成熟材料。

聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，具有高度的耐腐蝕性和疏水性。聚對二甲苯屏障專為醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計，包括但不限于凍干和滅菌。

在某些真空工藝中，微粒會損壞真空計，對于這些應(yīng)用，SmartPirani™ 傳感器配有保護(hù)擋板，可作為宏觀顆粒的屏障。

結(jié)合保護(hù)涂層選項，新型 SmartPirani™ 傳感器適用于惡劣的真空環(huán)境。

帶保護(hù)擋板的SmartPirani

通過可靠而穩(wěn)健的設(shè)定點繼電器控制來控制真空壓力

SmartPirani™ 真空傳感器配有三個獨立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可用于泵、閥門、安全聯(lián)鎖電路和其他外部設(shè)備的外部控制。基本控制使用具有可編程設(shè)定點和遲滯值的開/關(guān)調(diào)節(jié)。每個固態(tài)繼電器都提供常閉和常開觸點。

與機(jī)電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有更高的可靠性和更快的開關(guān)時間，同時提供無電弧觸點，并且在開關(guān)觸點時不會產(chǎn)生 EMI（電磁干擾）。

SmartPirani™ 繼電器經(jīng)久耐用，已通過 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)應(yīng)用時具有最大的信心。

對于需要大氣開關(guān)功能的應(yīng)用，如負(fù)載鎖真空系統(tǒng)，VPM-7 SmartPirani™ ATM?提供與 VPM-5 相同的性能、特性和功能，但具有額外的精密大氣開關(guān)功能。

用于外部讀數(shù)的模擬電壓輸出

盡管SmartPirani™真空傳感器具有先進(jìn)的功能和智能技術(shù)，但該傳感器可以作為獨立的模擬設(shè)備運行，提供電壓和返回測量信號。模擬電壓輸出可通過?S4-Connect™?或 RS-232/RS-485 接口配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號。

此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應(yīng)商的真空計和傳感器。

自定義設(shè)置

SmartPirani™真空傳感器可以定制配置，以滿足特定的應(yīng)用要求。預(yù)配置選項的示例包括測量范圍、真空壓力單位、設(shè)定值配置和輸出信號縮放。定制產(chǎn)品將被分配一個唯一的零件編號，以便將來輕松簡單地重新訂購。

SMARTPIRANI™真空傳感器的應(yīng)用

  • 質(zhì)譜儀
  • 掃描電子顯微鏡
  • 爐膛熱處理
  • 玻璃、光學(xué)、工具、包裝、裝飾的PVD涂層
  • 制冷制造與服務(wù)
  • 半導(dǎo)體加工設(shè)備
  • 真空泵服務(wù)

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