iVacSens™系列真空傳感器模塊是世界上最小的寬范圍多功能組合真空計，設計用于集成在OEM設備中。iVacSens™基于破紀錄且久經考驗的SmartPirani™ MEMS熱損失傳感器，與傳統的皮拉尼線、傳統MEMS Pirani和對流計相比，該傳感器具有一流的性能、更寬的測量范圍和更高的精度。

超緊湊的設計和低功耗使其對便攜式質譜儀或檢漏儀等電池供電設備具有吸引力。

VPi-4 傳感器模塊

• 測量范圍 1×^10-6?至 13.33 mbar（7.5×^10-7?至 10 Torr）
• 具有 1E-6 mbar 測量能力的一流?MEMS Pirani 傳感器
• 模擬和數字輸出

VPi-5 傳感器模塊

• 測量范圍 1×^10-6?至 1,333 mbar（7.5×^10-7?至 1,000 Torr）
• 超寬范圍和高性能一流的MEMS皮拉尼傳感器
• 2 至 1,333 mbar 的精密氣體獨立膜片傳感器。

VPi-7 傳感器模塊

• 測量范圍 1×^10-6?至 1,333 mbar（7.5×^10-7?至 1,000 Torr）
• 超寬范圍和高性能一流的MEMS皮拉尼傳感器
• 2 至 1,333 mbar 的精密氣體獨立膜片傳感器。
• 大氣切換功能和表壓測量輸出