丹麥 SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器
SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖緊、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)，在這些應(yīng)用中，相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測量非常重要。
1×10-6?至 1333 mbar / 7.5×10-7?至 1000 Torr / 1×10-4?至 1.333×105 Pa
SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器用于負(fù)載鎖定控制的下一代真空傳感器
用于負(fù)載鎖的 SMARTPIRANI™ ATM 傳感器
帶大氣開關(guān)、數(shù)字和模擬接口的真空壓力傳感器
SENS4 A/S VPM-7 真空壓力傳感器
- 測量范圍 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
- 超寬量程和高性能同類最佳?MEMS 皮拉尼傳感器
- 精密氣體非依賴型隔膜傳感器，壓力范圍為 2 至 1333 mbar。
- 大氣切換功能和表壓測量輸出
- 數(shù)字?RS-232 或 RS-485 接口和可編程電壓輸出。
- 三個(gè)固態(tài)設(shè)定點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)可靠的過程控制
- 多色 LED，用于直觀地指示測量的壓力水平
- 用戶可通過 RS-232、RS-485 或?S4-Connect™?進(jìn)行編程
- 堅(jiān)固的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計(jì)
- 引腳和輸出與其他供應(yīng)商的儀表兼容
與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖傳感器和其他負(fù)載鎖傳感器解決方案相比，它具有更寬的測量范圍、更高的精度和更快的測量周期，具有一流的性能。
SENS4 SmartPirani ATM基于一項(xiàng)正在申請專利的技術(shù)，該技術(shù)通過將皮拉尼熱損失真空計(jì)的熱導(dǎo)率測量范圍延長1-3個(gè)十年，建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。
多合一多傳感器傳感器解決方案
SENS4 VPM-7 是一款真正的多傳感器，具有四個(gè)壓力輸出，結(jié)合了氣壓環(huán)境傳感器、寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、絕對(duì)隔膜傳感器和相對(duì)于大氣壓的信號(hào)，以優(yōu)化現(xiàn)代負(fù)載鎖真空室的壓力控制。隔膜傳感器讀數(shù)與氣體無關(guān)，絕對(duì)壓力為 2 至 1333 mbar。
負(fù)載鎖是一種真空室，用于將半導(dǎo)體晶圓等設(shè)備從環(huán)境氣壓加載到真空處理室。負(fù)載鎖通常在大氣氣壓環(huán)境壓力和將晶圓轉(zhuǎn)移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環(huán)。精確控制負(fù)載鎖真空室中的壓力對(duì)于防止環(huán)境空氣和顆粒污染負(fù)載鎖和晶圓至關(guān)重要。
可編程設(shè)置和參數(shù)
用戶可以對(duì)傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程，以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用參數(shù)。
數(shù)字串行接口支持診斷、預(yù)測性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實(shí)時(shí)真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實(shí)時(shí)測量和診斷的即插即用解決方案。
模擬電壓輸出
用戶可以通過 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號(hào)。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項(xiàng)，以模擬其他供應(yīng)商的真空計(jì)和傳感器?？蛇x的輔助模擬輸出可對(duì)全范圍真空壓力和相對(duì)于大氣壓的壓力信號(hào)進(jìn)行外部監(jiān)測。
用于壓力指示的新型 RGB LED
SENS4 SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過多色LED直觀地確定測量的壓力，該LED在整個(gè)壓力范圍內(nèi)平滑地改變顏色。這種可選的視覺功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測量壓力的粗略視覺指示。如果真空系統(tǒng)加壓超過環(huán)境壓力，它還會(huì)提供清晰的視覺警告。
SENS4 可靠而穩(wěn)健的壓力控制
為了優(yōu)化負(fù)載鎖定性能，需要準(zhǔn)確可靠地控制多個(gè)壓力參數(shù)。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負(fù)載鎖門。
與傳統(tǒng)的機(jī)電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關(guān)時(shí)間，同時(shí)提供無電弧觸點(diǎn)，并且在開關(guān)觸點(diǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用，并通過了 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)負(fù)載鎖定應(yīng)用時(shí)具有最大的信心。
