丹麥 SENS4 A/S VPM-17 真空壓力傳感器,TriCAP™ ATM 傳感器
TriCAP™ ATM 傳感器
多傳感器真空壓力傳感器，帶大氣開關(guān)、數(shù)字和模擬接口
VPM-17 真空壓力傳感器
- 測量范圍 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
- 不受氣體影響的測量范圍為 5×10-3?至 1333 mbar
- 采用一流的?MEMS 皮拉尼傳感器實現(xiàn)低壓測量能力
- 大氣切換功能和表壓測量輸出
- 數(shù)字?RS-232 或 RS-485 接口和可編程電壓輸出。
- 三個固態(tài)設(shè)定點，實現(xiàn)可靠的過程控制
- 用戶可通過 RS-232、RS-485 或?S4-Connect™?進行編程
- 堅固的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計
- 引腳和輸出與其他供應(yīng)商的儀表兼容
SENS4 VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器為各種真空應(yīng)用提供一體化測量解決方案，樹立了新標準。它與任何其他真空計的不同之處在于，它提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的整體經(jīng)濟高效的氣體獨立測量，并結(jié)合低至 1E-6 mbar 的皮拉尼熱損失測量。
在氣體成分或類型可能發(fā)生變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)的氣體依賴型皮拉尼真空計會導(dǎo)致測量結(jié)果與實際壓力產(chǎn)生偏差。然而，TriCAP™ ATM 傳感器采用精密電容隔膜計 （CDG） 傳感器，即使在氣體特性波動的情況下也能確保測量精度，因為它不依賴于氣體成分。
集成的熱損失 MEMS 皮拉尼傳感器將測量范圍擴展到 1E-6 mbar，并為電容壓力計提供了一種新穎的自動零點調(diào)整功能，消除了傳統(tǒng)電容隔膜表手動調(diào)零的常見需求。
重新思考真空測量
TriCAP™ ATM 是一款真正新穎的多傳感器真空計，是傳統(tǒng)皮拉尼真空計應(yīng)用性能升級的選擇，也是使用獨立電容壓力計和皮拉尼真空計的應(yīng)用的成本優(yōu)化的一體化解決方案。
可編程設(shè)置和參數(shù)
用戶可以對傳感器設(shè)置和參數(shù)進行編程，以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用參數(shù)。
數(shù)字串行接口支持診斷、預(yù)測性維護、維修、校準、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。
模擬電壓輸出
用戶可以通過 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應(yīng)商的真空計和傳感器。可選的輔助模擬輸出可對全范圍真空壓力和相對于大氣壓的壓力信號進行外部監(jiān)測。
用于壓力指示的新型 RGB LED
SENS4 SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過多色LED直觀地確定測量的壓力，該LED在整個壓力范圍內(nèi)平滑地改變顏色。這種可選的視覺功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測量壓力的粗略視覺指示。如果真空系統(tǒng)加壓超過環(huán)境壓力，它還會提供清晰的視覺警告。
SENS4 可靠而穩(wěn)健的壓力控制
為了優(yōu)化負載鎖定性能，需要準確可靠地控制多個壓力參數(shù)。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個獨立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負載鎖門。
與傳統(tǒng)的機電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關(guān)時間，同時提供無電弧觸點，并且在開關(guān)觸點時不會產(chǎn)生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用，并通過了 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)負載鎖定應(yīng)用時具有最大的信心。
