美國Silicon Materials 2英寸 (50.8mm)硅晶圓 硅晶片 優(yōu)質(zhì)晶圓和測試晶圓 厚度范圍250–1800微米

產(chǎn)品

Silicon Materials, Inc. 提供多種規(guī)格的晶圓及相關(guān)服務(wù)，滿足半導體行業(yè)的不同需求。晶圓制造過程完全透明。所有晶圓生產(chǎn)從初始的多晶硅批次到最終包裝均可追溯。產(chǎn)品的穩(wěn)定性源于對整個制造周期的嚴格控制。

主要原材料：采用美國生產(chǎn)的原生半導體級多晶硅。

晶圓產(chǎn)品

  1. CZ（直拉法）晶圓
  2. FZ（浮區(qū)法）晶圓
    • 尺寸范圍：50.8mm 至 150mm
    • 類型：優(yōu)質(zhì)晶圓（Prime）
  3. 摻雜類型
    • 硼（Boron）、磷（Phosphorous）、銻（Antimony）、砷（Arsenic）
    • 未摻雜 CZ 晶圓（Undoped CZ）
    • 本征晶圓（Intrinsic）
  4. 晶向
    • 標準晶向：<100>、<111>、<110>、<112>
    • 可根據(jù)客戶需求提供定制切割規(guī)格
  5. 厚度和幾何參數(shù)
    • 符合 SEMI 標準或客戶指定要求
    • 當前能力：大多數(shù)直徑的晶圓厚度范圍為 250 – 1800 微米
  6. 質(zhì)量控制
    • 所有晶圓均由 SMI 生產(chǎn)或由 SMI 認證/擔保的供應(yīng)商提供

定制薄膜和服務(wù)

  • 提供定制薄膜沉積服務(wù)，滿足特定應(yīng)用需求。
  • 其他相關(guān)服務(wù)可根據(jù)客戶需求定制。

優(yōu)勢

  • 高質(zhì)量：嚴格的質(zhì)量控制和生產(chǎn)流程，確保產(chǎn)品一致性。
  • 靈活性：支持客戶定制需求，包括尺寸、摻雜、晶向和厚度。
  • 可靠性：所有產(chǎn)品均可追溯，確保透明度和可信度。

2 英寸（50.8毫米）硅晶圓規(guī)格

材料特性

參數(shù)特性ASTM 控制方法
生長方法直拉法（Cz）、浮區(qū)法（Fz）–
類型/摻雜P 型 – 硼（Boron）
N 型 – 磷（Phosphorous）
N 型 – 銻（Antimony）
N 型 – 砷（Arsenic）
未摻雜（Undoped）		F42
晶向<100>、<111>、<110>，可根據(jù)客戶要求提供切割方向（slice ON 或 slice OFF）F26
氧含量10-19 ppmA，可根據(jù)客戶要求提供定制公差F121
碳含量< 1.0 ppmA，可根據(jù)客戶要求提供定制公差F123
電阻率范圍– P 型（硼）：0.001 – 50 歐姆·厘米
– N 型（磷）：0.1 – 40 歐姆·厘米
– N 型（銻）：0.005 – 0.025 歐姆·厘米
– N 型（砷）：< 0.005 歐姆·厘米		F84

機械特性

參數(shù)Prime APrime BTestASTM 方法
直徑2″ ± 0.008″2″ ± 0.008″2″ ± 0.015″F2074
厚度279 ± 20 μm（標準）
381 ± 20 μm
450 ± 20 μm
500 ± 20 μm
750 ± 20 μm
1000 ± 20 μm		279 ± 25 μm（標準）
381 ± 25 μm
450 ± 25 μm
500 ± 25 μm
750 ± 25 μm
1000 ± 25 μm		279 ± 25 μm（標準）
381 ± 25 μm
450 ± 25 μm
500 ± 25 μm
750 ± 25 μm
1000 ± 25 μm		F533
TTV（總厚度變化）< 5 μm< 10 μm< 15 μmF657
彎曲度（Bow）< 38 μm< 38 μm< 38 μmF534
翹曲度（Warp）< 38 μm< 38 μm< 38 μmF657
邊緣倒角符合 SEMI 標準––F928
標記僅主 SEMI 平邊，提供 SEMI 標準平邊、缺口或圓形邊緣F26, F671

表面質(zhì)量

參數(shù)Prime APrime BTestASTM 方法
正面標準
表面狀態(tài)化學機械拋光（CMP）––F523
表面粗糙度< 2 ?< 2 ?< 2 ?–
污染顆粒（>0.3 μm）< 15< 15< 15F523
霧度、凹坑、橘皮無無無F523
鋸痕、條紋無無無F523
背面標準
裂紋、鋸痕、污漬無無無F523
表面狀態(tài)堿蝕刻––F523

包裝選項

包裝類型包裝袋描述
2 部分晶圓盒，2 袋透明立體袋，A/S 藍色平袋
3 部分晶圓盒，2 袋透明立體袋，A/S 藍色平袋
單晶圓運輸盒，3 袋透明立體袋，鋁制立體袋，A/S 藍色平袋

備注

  • 所有規(guī)格可根據(jù)客戶需求進行調(diào)整。
  • 提供符合 SEMI 標準或客戶指定要求的定制服務(wù)。

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