Sinton Instruments BLS-L/BCT-400優越的硅錠測試儀器

簡單、精確、無接觸式地測量初長成態或已加工成型硅棒或硅錠的真實體壽命。遵從SEM標準Pv13。

BLS-|和BcCτ-400測量系統可以直接測量單晶或多晶硅錠或硅磚的壽命,而無需進行表面鈍化。由于壽命測試是表征晶體生長和雜質缺陷最靈敏的技使用該系列產品,您可以在晶體長成后立刻對晶硅質量進行評估。

BLS-設備應用靈活,能夠測量各種各樣的表面(150mm直徑的曲面BCT-400設備更加專為測量平面400還可以集動化工作站中,同時對測試軟件進行相應設置就能實現無縫自動化測量

主要應用

• 對壽命在1-10毫秒范圍內的高純度硅進行測定
• 對未經特殊表面處理的長成態B-CZ單晶硅棒進行質量檢驗
• 對多晶硅錠的壽命和陷阱濃度進行表征

其他應用

• 檢測BO缺陷、Fe污染和表面損份
• 監測Cz直拉硅、Fz區熔硅、多晶硅或UMG升級冶金硅的初始材料質量、