Sinton Instruments WCT120PL-使用光致發光傳感器的硅片壽命測試儀

同時使用標準光電導( QSSPC)方法,和光致發光( QSSPL)方法,對載流子復合壽命進行校準測量。

WCT120PL硅片壽命測試工具包含了WCT120儀器獨特的測量和分析技術的同時,又增加了光致發光(PL)傳感器,以基于PL信號測試壽命和摻雜水平。準穩態光電導( QSSPC)壽命測試方法和瞬態光電導衰減壽命測試方法都増增補了校準的基于PL信號的壽命測試。也可以簡單地將工具作為標準的WCT120使用。

主要應用

用 QSSPC或瞬態壽命測試,以及P壽命測試,對制造工藝進行逐步監控和優化。

其他應用

• 監測初始材料質量
• 在硅片加工過程中檢測重金屬雜質污染
• 評估表面鈍化和發射極摻雜擴散
• 使用隱含Voc測試,估計加工過程引起的并聯電阻
• 基于 QSSPL和 QSSPC數據迭代計算襯底摻雜