Sinton Instruments BLS-L/BCT-400優(yōu)越的硅錠測(cè)試儀器

簡(jiǎn)單、精確、無(wú)接觸式地測(cè)量初長(zhǎng)成態(tài)或已加工成型硅棒或硅錠的真實(shí)體壽命。遵從SEM標(biāo)準(zhǔn)Pv13。

BLS-|和BcCτ-400測(cè)量系統(tǒng)可以直接測(cè)量單晶或多晶硅錠或硅磚的壽命,而無(wú)需進(jìn)行表面鈍化。由于壽命測(cè)試是表征晶體生長(zhǎng)和雜質(zhì)缺陷最靈敏的技使用該系列產(chǎn)品,您可以在晶體長(zhǎng)成后立刻對(duì)晶硅質(zhì)量進(jìn)行評(píng)估。

BLS-設(shè)備應(yīng)用靈活,能夠測(cè)量各種各樣的表面(150mm直徑的曲面BCT-400設(shè)備更加專為測(cè)量平面400還可以集動(dòng)化工作站中,同時(shí)對(duì)測(cè)試軟件進(jìn)行相應(yīng)設(shè)置就能實(shí)現(xiàn)無(wú)縫自動(dòng)化測(cè)量

主要應(yīng)用

• 對(duì)壽命在1-10毫秒范圍內(nèi)的高純度硅進(jìn)行測(cè)定
• 對(duì)未經(jīng)特殊表面處理的長(zhǎng)成態(tài)B-CZ單晶硅棒進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)
• 對(duì)多晶硅錠的壽命和陷阱濃度進(jìn)行表征

其他應(yīng)用

• 檢測(cè)BO缺陷、Fe污染和表面損份
• 監(jiān)測(cè)Cz直拉硅、Fz區(qū)熔硅、多晶硅或UMG升級(jí)冶金硅的初始材料質(zhì)量、