Sinton Instruments IL-800產線硅片測試是進行快速產線測試的完美工具。具有與離線工具相當的綜合精度,以及專為工業生產設計的軟件包,可以監控硅片少子壽命、方塊電阻和陷阱濃度。

Sinton Instruments離線測試儀WT-120的校準壽命測試技術用于生產線，對工業生產線進行高級工藝監控。使用IL-800可以對硅片壽命進行單次、大面積測量，測試會平衡晶界或晶體生長條件差異的影響。測試單元帶有集成光源，可以安裝到硅片軌道上方或下方,使用無接觸傳感器對每片經過軌道的硅片進行測試。

產品概述

在關鍵工藝步驟測試硅片,來對生產線進行逐步監控和優化。

主要應用

• 監測原料硅片質量(壽命、方塊電阻和陷阱濃度）
• 對磷擴工藝進行質量監控
• 在生產過程中,提前發現來自于水、化學品、髙溫爐管或操作過程等造成的硅片污染
• 保證氮化硅鍍膜工藝最佳的表面鈍化效果