Sinton Instruments WCT120/WcT120MX:硅片壽命的標準離線測試工具

硅片測試儀器提供了對載流子復合壽命進行校準分析的現有最佳技術。完全遵從SEMI標準PV-13

WCT120是放置在桌面上的硅片壽命測量系統,適用于器件研究和工業過程控制,價格實惠。WCT120MX適用于測試230mm的大硅片

WCT120和WCT-120MX儀器展示了我們獨特的測量和分析技術,包括 Sinton Instruments公司在1994年開發的遵從SEMI標準的準穩態光電導( QSSPC)壽命測量方法

WCτ-120儀器使用 QSSPC和瞬態光電導衰減技術,可以測量10ns到10ms+范圍的硅片壽命。 QSSPC技術適用于監測多晶硅片、摻雜擴散樣品。瞬態光電導衰減技術適用于對高壽命樣品的工藝進行逐步監控

WCT120壽命測試也會給出隱含開路電壓(隨光照強度變化的)曲線,相當于在電池工藝的每個階段都能給出一條I-V曲線

主要應用:對制造工藝進行逐步監控和優化。

其他應用:

• 監測初始材料質量
• 在硅片加工過程中檢測重金屬雜質污染
• 評估表面鈍化和發射極摻雜擴散
• 使用隱含|-Ⅴ測試,估算加工過程引起的并聯電阻