位移角差分干涉儀 SP 5000 DI/DS
四光束激光干涉位移角差測量系統
- 高度穩定的差分長度和螺距角測量
- XY 載物臺的完美選擇
- 光束距離 15 mm（長度測量）和 6 mm（角度測量）
- 極低的溫度靈敏度< 20 nm/K
- 該設備提供 OEM 和真空版本
SP 5000 DI/DS?干涉儀結合了差分干涉儀和多光束干涉儀的優點。它首次將基于差分原理的高度穩定的長度測量與高分辨率干涉傾斜角測量相結合。這使得不僅可以檢測最微小的運動，還可以檢測更大區域的最小傾斜，而不會使結果受到熱和物理環境的影響。
干涉儀設計用于平面鏡和內置測量系統。可以使用反射器。干涉儀使用集成到光束路徑中的超穩定光學元件進行調整。
