差分激光干涉儀 SP 5000 DI/F

超穩(wěn)定緊湊型差分激光干涉儀

• 最高精度的差長或角度測量
• 通過差分測量將環(huán)境影響降至最低
• 熱超穩(wěn)定傳感器設(shè)計，溫度靈敏度< 10 nm/K
• 可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測量反射鏡的傾斜不變性大
• 緊湊而堅固的設(shè)計
• 標(biāo)配不銹鋼傳感器頭設(shè)計
• 光束距離： 14 mm
• 可提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
• 可用作具有可選接口的反饋系統(tǒng)
• 廣泛的觸發(fā)選項

超穩(wěn)定、緊湊的?SP 5000 DI/F 差分干涉儀專為必須長時間進(jìn)行高度穩(wěn)定長度測量的應(yīng)用而設(shè)計。緊湊的傳感器設(shè)計即使在狹小的空間內(nèi)也能實現(xiàn)長期穩(wěn)定的調(diào)整和放置，因此該精密測量系統(tǒng)非常適合用作閉環(huán)控制回路的激光柵尺。該應(yīng)用需要一個外部參考點，該參考點通常位于測量范圍的中間，以實現(xiàn)最佳的測量值穩(wěn)定性。干涉儀的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能實現(xiàn)亞納米級的長度分辨率。很容易進(jìn)行數(shù)米的測量，因此可以使用 SP 系列的反射器。

技術(shù)數(shù)據(jù)