差分激光干涉儀 SP 5000 DI

具有兩個平行測量光束的高穩定差分激光干涉儀

• 最高精度的差長或角度測量
• 通過差分測量將環境影響降至最低
• 傳感器長期熱穩定，溫度靈敏度< 20 nm/K
• 可以使用各種光學反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測量反射鏡的傾斜不變性大
• 標配不銹鋼傳感器頭設計
• 光束距離： 21 mm
• 廣泛的觸發選項
• Windows 和 Linux 下 OEM 軟件的開放接口

我們的超穩定差分激光干涉儀 SP 5000 DI?具有獨特的熱穩定性，因此是研發中長期測量的首選，例如用于材料性能分析。
與標準干涉儀相比，在差分版本中，參考光束從傳感器頭引出，并與測量光束平行。這一概念允許將傳感器放置在距離實際測量位置更遠的地方，而不會顯著影響測量的分辨率或穩定性。該干涉儀的長度分辨率在亞納米范圍內，并且由于差分原理，即使在正常的實驗室條件下，也可以在相當的測量或光束長度下實現。
如果使用傾斜不變反射器進行測量，則長度測量的測量范圍可以是幾米。干涉測量系統采用模塊化設計，因此可以適應相應的測量任務。
調整很簡單，特別是可以長期穩定地實現。基于?SP 5000 DI?干涉儀的干涉多軸系統擴展，可同時進行多坐標測量。

技術數據