納米定位和納米測(cè)量機(jī) NMM-1
以納米精度對(duì)物體和結(jié)構(gòu)進(jìn)行定位、操縱、加工和測(cè)量
- 世界上最精密的納米定位和納米計(jì)量機(jī)器
- 測(cè)量和定位范圍 25 x 25 x 5 mm
- 分辨率 0.1 nm
- 最高精度的 3D 定位和測(cè)量系統(tǒng)
- 探測(cè)系統(tǒng)，例如激光聚焦傳感器、原子力顯微鏡、白光傳感器、3D 微型掃描儀
- 開(kāi)放式設(shè)備架構(gòu)支持定制傳感器的應(yīng)用
- NMM-1 通過(guò) PC 軟件進(jìn)行控制。用戶 API 可用。
用于三維坐標(biāo)測(cè)量的納米定位和納米測(cè)量機(jī)在 25 mm x 25 mm x 5 mm 的測(cè)量范圍內(nèi)運(yùn)行，分辨率為 0.1 nm。特殊的傳感器布置確保所有三個(gè)坐標(biāo)軸的測(cè)量均無(wú)像差。三個(gè)微型干涉儀的測(cè)量軸在探測(cè)傳感器和被測(cè)物體之間的接觸點(diǎn)處幾乎相交。
被測(cè)物體直接位于可移動(dòng)的鏡角上。反射鏡角的位置由三個(gè)固定的微型干涉儀檢測(cè)。鏡角采用三軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)定位。兩個(gè)角度傳感器用于測(cè)量和補(bǔ)償定位過(guò)程中的角度偏差。
來(lái)自一個(gè)穩(wěn)定激光器的光通過(guò)光纖從電子單元傳輸?shù)礁缮鎯x頭。這導(dǎo)致了納米定位和納米測(cè)量機(jī)的緊湊且溫度穩(wěn)定的設(shè)計(jì)。
納米測(cè)量機(jī)是世界上唯一一種在正常條件下以亞納米精度安全適用于宏觀物體測(cè)量的計(jì)量系統(tǒng)，并在多個(gè)國(guó)家計(jì)量機(jī)構(gòu)使用。
技術(shù)數(shù)據(jù)
應(yīng)用領(lǐng)域
- 在大空間范圍內(nèi)以納米級(jí)精度對(duì)微電子、微機(jī)械、光學(xué)、微系統(tǒng)技術(shù)物體進(jìn)行定位、操作、處理和測(cè)量
- 可以在大面積上進(jìn)行連續(xù) AFM 掃描
- 精密零件的測(cè)量，例如硬度壓頭、膜和微透鏡
- 臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)和節(jié)距標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)
- 無(wú)阿貝誤差定位
- 計(jì)量測(cè)量設(shè)置，適用于開(kāi)發(fā)中的傳感器的校準(zhǔn)和鑒定
- 開(kāi)放式設(shè)備架構(gòu)，可使用客戶定制的探測(cè)傳感器
