納米振動分析儀 NA?是?LSV 120 NG?系列光纖耦合激光測振儀與工程顯微鏡的組合。該系統非常適合測量微結構、MEMS 和懸臂的動態行為和靜態撓度。根據所使用的物鏡，可以實現小于 2 μm 的測量光斑尺寸。
可以使用 X-Y 平臺在大范圍內定位和掃描被測物體，并且可以通過相機進行觀察。顯微鏡物鏡是可互換的，并定義了可見光范圍和激光光斑直徑。激光干涉測振儀可實現的位移分辨率在皮米范圍內，可以分析高達 5 MHz 的振動頻率。
提供專門開發的軟件，用于采集和顯示測量數據。除了振動的頻率分析和觸發測量記錄外，該軟件還可以控制 X-Y 工作臺和外部頻率發生器。可以通過腳本自動執行更廣泛的測量序列。