LM 系列激光干涉探頭是精密線(xiàn)性編碼器。使用這些探頭，可以在 20 或 50 mm 的測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行觸覺(jué)測(cè)量，精度達(dá)到納米級(jí)。高線(xiàn)性長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x的尺寸和 ? 8 mm h6 的夾緊軸直徑與傳統(tǒng)測(cè)量系統(tǒng)兼容。
集成的激光干涉儀將電機(jī)驅(qū)動(dòng)測(cè)量主軸的測(cè)量運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為干涉信號(hào)。該光學(xué)測(cè)量信號(hào)通過(guò)光纖傳輸?shù)焦怆婋娫春驮u(píng)估單元，并作為長(zhǎng)度值輸出。測(cè)針套筒和集成干涉儀相互調(diào)整，同時(shí)考慮到阿貝誤差和對(duì)準(zhǔn)誤差的最小化。
穩(wěn)定的氦氖激光器，其光通過(guò)光纖饋送到激光干涉儀，并校正環(huán)境對(duì)激光波長(zhǎng)的影響，是高測(cè)量精度的基礎(chǔ)。操作和顯示要么通過(guò)單獨(dú)的顯示器，要么通過(guò)裝有適當(dāng)軟件的 PC。