雙光束激光干涉儀 SP 5000 DS

雙光束激光干涉儀，用于同時進行準確的長度和角度測量

• 具有最高精度的靈活長度測量系統
• 最高精度的角度檢測
• 易于調整和處理
• 可以使用各種光學反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測量反射鏡允許傾斜高達 ± 12.5°
• 緊湊的設計
• 傳感器頭有鋁、不銹鋼或因瓦合金材質
• 光束距離：12 mm 標準，可根據要求提供其他
• 可提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
• 廣泛的觸發選項

SP 5000 DS 雙光束激光干涉儀用于除了長度信息外，還需要同時采集運動角度的測量任務。該干涉儀的測量原理基于?SP 5000 NG?測量設備。
兩個測量激光束使用相同頻率的普通激光的光。兩個測量光束之間的光束間距經過高精度校準。測量光束彼此之間的平行度非常重要。如果兩個光束都使用一個公共反射器，則可以通過形成差值來以高分辨率測量和計算運動的角度。
如果兩個光束彼此獨立運行，則可以進行差分測量。對于差分測量的長期穩定性特別高的要求，我們推薦?SP 5000 DI?系列干涉儀。需要同時采集另一個角度的測量任務可以使用三光束?SP 5000 TR?干涉儀執行。

技術數據