三軸激光干涉儀 SP 5000 TR

• 具有最高精度的靈活長度測量系統
• 由于集成了光束方向檢測，易于處理和調整
• 可以使用各種光學反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測量反射鏡允許傾斜高達 ± 12.5°
• 緊湊的設計
• 傳感器頭設計可選鋁制、不銹鋼或因瓦合金
• 光束距離： 12 mm
• 可提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
• 光束偏轉，可選配可調節偏轉鏡
• 通過可選接口擴展應用范圍
• 廣泛的觸發選項
• 根據當前有效標準的校準軟件

工業和研究的許多應用領域都需要高精度的同步位移和角度測量。在固定三反射器單元的滑塊運動過程中，同時采集俯仰角和偏航角以及長度測量，可以快速、高精度地評估運動軸?？焖俸唵蔚膫鞲衅髡{整在這里尤為重要。

SP 5000 TR 三光束激光干涉儀是將三個干涉儀組合在一個設備中的精密長度測量儀器。所有三個測量通道都由一個具有相同高度穩定激光頻率的光源饋送。因此，可以以納米級精度同時測量三個長度值。根據兩個長度值之間的差異和校準的光束距離，可以高分辨率、高精度地確定相應的角度。

干涉儀系統采用模塊化設計，因此可以適應各種測量任務。

傳感器頭的光纖耦合和可選的集成光束方向檢測支持輕松操作和精確調整。

SP 5000 TR 三光束干涉儀的設計緊湊而堅固。這使其成為工業和研究中高精度測量的理想選擇。可根據要求提供也可用于真空的 OEM 儀器版本。

對于大測量范圍或大型物體的校準，建議使用無線電溫度傳感器或 LCS 精密氣候測量站。

技術數據