納米振動(dòng)分析儀 NA
用于微結(jié)構(gòu)和 MEMS 的測(cè)振儀系統(tǒng)
- 對(duì)微物體進(jìn)行高精度、非接觸式振動(dòng)測(cè)量
- 易于調(diào)整和處理
- 廣泛的觸發(fā)選項(xiàng)
- X-Y 工作臺(tái) 50 mm x 50 mm，可根據(jù)要求提供其他選項(xiàng)
- 顯微鏡物鏡 10x、20x、50x
- 光斑直徑 2 μm – 10 μm，（取決于物鏡）
- 可以 OEM 使用測(cè)振儀單元
- Windows 和 Linux 下 OEM 軟件的開(kāi)放接口
- 用于頻譜分析的 FFT 軟件
納米振動(dòng)分析儀 NA?是?LSV 120 NG?系列光纖耦合激光測(cè)振儀與工程顯微鏡的組合。該系統(tǒng)非常適合測(cè)量微結(jié)構(gòu)、MEMS 和懸臂的動(dòng)態(tài)行為和靜態(tài)撓度。根據(jù)所使用的物鏡，可以實(shí)現(xiàn)小于 2 μm 的測(cè)量光斑尺寸。
可以使用 X-Y 平臺(tái)在大范圍內(nèi)定位和掃描被測(cè)物體，并且可以通過(guò)相機(jī)進(jìn)行觀察。顯微鏡物鏡是可互換的，并定義了可見(jiàn)光范圍和激光光斑直徑。激光干涉測(cè)振儀可實(shí)現(xiàn)的位移分辨率在皮米范圍內(nèi)，可以分析高達(dá) 5 MHz 的振動(dòng)頻率。
提供專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的軟件，用于采集和顯示測(cè)量數(shù)據(jù)。除了振動(dòng)的頻率分析和觸發(fā)測(cè)量記錄外，該軟件還可以控制 X-Y 工作臺(tái)和外部頻率發(fā)生器。可以通過(guò)腳本自動(dòng)執(zhí)行更廣泛的測(cè)量序列。
可以使用 X-Y 平臺(tái)在大范圍內(nèi)定位和掃描被測(cè)物體，并且可以通過(guò)相機(jī)進(jìn)行觀察。顯微鏡物鏡是可互換的，并定義了可見(jiàn)光范圍和激光光斑直徑。激光干涉測(cè)振儀可實(shí)現(xiàn)的位移分辨率在皮米范圍內(nèi)，可以分析高達(dá) 5 MHz 的振動(dòng)頻率。
提供專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的軟件，用于采集和顯示測(cè)量數(shù)據(jù)。除了振動(dòng)的頻率分析和觸發(fā)測(cè)量記錄外，該軟件還可以控制 X-Y 工作臺(tái)和外部頻率發(fā)生器。可以通過(guò)腳本自動(dòng)執(zhí)行更廣泛的測(cè)量序列。
