LM 系列激光干涉探頭是精密線性編碼器。使用這些探頭，可以在 20 或 50 mm 的測量范圍內進行觸覺測量，精度達到納米級。高線性長度測量儀的尺寸和 ? 8 mm h6 的夾緊軸直徑與傳統測量系統兼容。
集成的激光干涉儀將電機驅動測量主軸的測量運動轉換為干涉信號。該光學測量信號通過光纖傳輸到光電電源和評估單元，并作為長度值輸出。測針套筒和集成干涉儀相互調整，同時考慮到阿貝誤差和對準誤差的最小化。
穩定的氦氖激光器，其光通過光纖饋送到激光干涉儀，并校正環境對激光波長的影響，是高測量精度的基礎。操作和顯示要么通過單獨的顯示器，要么通過裝有適當軟件的 PC。