納米定位和納米測量機(jī) NMM-1
以納米精度對(duì)物體和結(jié)構(gòu)進(jìn)行定位、操縱、加工和測量
- 世界上最精密的納米定位和納米計(jì)量機(jī)器
- 測量和定位范圍 25 x 25 x 5 mm
- 分辨率 0.1 nm
- 最高精度的 3D 定位和測量系統(tǒng)
- 探測系統(tǒng)，例如激光聚焦傳感器、原子力顯微鏡、白光傳感器、3D 微型掃描儀
- 開放式設(shè)備架構(gòu)支持定制傳感器的應(yīng)用
- NMM-1 通過 PC 軟件進(jìn)行控制。用戶 API 可用。
用于三維坐標(biāo)測量的納米定位和納米測量機(jī)在 25 mm x 25 mm x 5 mm 的測量范圍內(nèi)運(yùn)行，分辨率為 0.1 nm。特殊的傳感器布置確保所有三個(gè)坐標(biāo)軸的測量均無像差。三個(gè)微型干涉儀的測量軸在探測傳感器和被測物體之間的接觸點(diǎn)處幾乎相交。
被測物體直接位于可移動(dòng)的鏡角上。反射鏡角的位置由三個(gè)固定的微型干涉儀檢測。鏡角采用三軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)定位。兩個(gè)角度傳感器用于測量和補(bǔ)償定位過程中的角度偏差。
來自一個(gè)穩(wěn)定激光器的光通過光纖從電子單元傳輸?shù)礁缮鎯x頭。這導(dǎo)致了納米定位和納米測量機(jī)的緊湊且溫度穩(wěn)定的設(shè)計(jì)。
納米測量機(jī)是世界上唯一一種在正常條件下以亞納米精度安全適用于宏觀物體測量的計(jì)量系統(tǒng)，并在多個(gè)國家計(jì)量機(jī)構(gòu)使用。
