Teledyne Hastings Instruments公司HFC-303, HFC-307 熱質量流量調節器技術參數
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所用技術:
熱質量
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液體類型:
用于氣體
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流量:
最少: 0 l/min (0 us gal/min)
最多: 2,500 l/min (660 us gal/min)
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壓力:
500 psi
Teledyne Hastings Instruments公司HFC-303, HFC-307 熱質量流量調節器介紹
Teledyne Hastings氣體流量米和流量控制器為精確測量被修造，并且真空和氣體控制流動。 60年在制造業流量儀器的經驗提供在系統的優秀與可以在象HFM熱量流量米和HFC熱量流量控制器的更新的模型找到的更高的靈活性和低成本的可移動或可替換的組分。 可替換的傳感器，系統的重要部分使堵塞無效的機會。 模塊設計靈活地提供上流調整系統通過可調整的范圍能力、軸向濾清和可替換的電子符合要求。 新的設計容納從10 SCCM的流速到15,000 SLPM，快速反應或者零的調整量電子。
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