美國(guó)TERASENSE TERA系列太赫茲成像相機(jī)
這些探測(cè)器采用GaAs高遷移率異質(zhì)結(jié)構(gòu)在標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝中使用常規(guī)光刻技術(shù)制造。成像傳感器在單片晶圓上制造,這一過程確保了等離子體探測(cè)器參數(shù)的高度均勻性和可重復(fù)性(像素間的響應(yīng)度偏差在20%的范圍內(nèi))。每個(gè)探測(cè)單元在室溫下的響應(yīng)度最高可達(dá)50 kV/W,配備讀取電路,噪聲等效功率為1 nW/√Hz,工作頻率范圍為10 GHz至1 THz。探測(cè)機(jī)制基于在二維電子系統(tǒng)中激發(fā)等離子體振蕩并隨后的整流過程。整流發(fā)生在電子系統(tǒng)中通過特殊缺陷所形成的區(qū)域。
我們的太赫茲相機(jī)是主動(dòng)探測(cè)設(shè)備,需要外部太赫茲源。我們提供基于IMPATT技術(shù)的亞太赫茲波源。所有我們的TERA系列太赫茲成像相機(jī)都采用相同類型的探測(cè)器,具有相同的能力和空間分辨率。不同型號(hào)之間的區(qū)別在于傳感器陣列中的像素?cái)?shù)量及其有效成像面積。
- 256 像素(16 x 16 陣列)
- 1.5 毫米像素間距
- 噪聲等效功率(NEP)= 1 nW/√Hz
- 設(shè)備尺寸:11.6 cm x 11.6 cm x 4.5 cm
- 1024 像素(32 x 32 陣列)
- 1.5 毫米像素間距
- 噪聲等效功率(NEP)= 1 nW/√Hz
- 設(shè)備尺寸:11.6 cm x 11.6 cm x 4.5 cm
- 4096 像素(64 x 64 陣列)
- 1.5 毫米像素間距
- 噪聲等效功率(NEP)= 1 nW/√Hz
- 設(shè)備尺寸:16.5 cm x 16.5 cm x 4.5 cm
- 圖像采集速率:5000 fps(5 kHz)
- 掃描速度:最高 15 m/秒(900 m/分鐘)
- 每像素最小可檢測(cè)功率:100 nW(在 5000 fps 時(shí))
- 256 像素(256 x 1 陣列)— 可根據(jù)需要擴(kuò)展
- 3 x 1.5 毫米像素尺寸
- 噪聲等效功率(NEP)= 1 nW/√Hz