Thermionics動態源電子槍Hanks HM2 Hydra模塊化磁束聚焦系統

我們的高效Hanks HM2電子槍提供獲得專利和屢獲殊榮的模塊化磁束聚焦系統，具有增強的光束準直性，消除了光束卷曲。
HM2電子槍的尺寸也是標準e-Guns的2/3，磁性效率提高了350%。

們創新的Hanks HM Hydra設計由一(1)個或兩(2)個緊湊的坩堝和發射器陣列組成，它們相互線性平移，可同時共沉積多達六種不同的材料。

特點:

• 優化的發射器和掃描線圈組件
• 取消極片——垂直安裝的磁鐵導致磁通量減少
• 0-200 Hz掃描，可重復，均勻蒸發，無“隧道效應”和源材料噴發
• 精確穩定的蒸發速率低至1-2a/秒
• 在同等體積、蒸發速率和功率下，比傳統蒸發源小35%
• 有HV [2×10^-9托]和UHV [2×10^-11托]
• 連續蒸發或共蒸發的理想選擇
• 電源、坩堝襯里和其他可用附件

可選型號

• Single

  — 7 cc to 156 cc single crucible / 1 emitter – 6-20 kW

• Single Rotary

  — 7 cc to 25 cc – 4 crucible / 1 emitter – 6 & 10 kW

• Twin™

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 2 crucible / 2 emitter – 10 & 15 kW

• Triad™

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 3 crucible / 3 emitter – 6 & 10 kW

• Quadra

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 4 crucible / 4 emitter – 6 & 10 kW

• Hydra-1™

  — Single array of 5 crucibles / 1-3 emitters (see Hydra description below for more details)

• Hydra-2™

  — Dual array of 5 crucibles / 1-3 emitters, totaling 10 crucibles / 2-6 emitters (see Hydra description below for more details)

Hanks HM2電子槍 are manufactured and protected under one or more of the following patents: 4,835,789; 4,891,821; 4,947,404

我們創新的Hanks HM Hydra設計由一(1)個或兩(2)個緊湊的坩堝和發射器陣列組成，它們相互線性平移，可同時共沉積多達六種不同的材料。

Hydra配置對空間的有效利用允許六個坩堝的四(4)種不同組合，并且兩種金屬組合的多達四十二種排列可用于在單個真空泵中的共沉積。

Hydra消除了鄰近源的相互作用，而沒有復雜的波束方向和龐大的場分流部件。因此，共蒸發設計允許緊密的源接近，以獲得均勻的涂層和材料相互作用。此外，每個源的單獨水冷卻防止蒸汽積聚，并且每個源包括單獨的掃描盤管，并且促進每個源的操作參數與相鄰源的完全獨立性。

Hydra-1和2規格