Thermionics靜態電子槍Hanks HM2 Hydra™多發射器、多坩堝
Hydra Static系列通過有效利用空間,提供四種或更多種不同材料的復雜共沉積過程和共蒸發。獨特的模塊化磁設計產生更有效的電子束。超單熔點200赫茲掃頻消除了隧道效應和源物質噴發。插入式發射器組件和掃描線圈組件使源更容易維修。
易于燈絲對準,更有效的電子準直,最小的燈絲變形和消除電子試驗。非常適合共蒸發!
專利:4,835,789; 4,891,291; 4,947,404
同時操作六(6)種不同的材料(可根據要求提供額外的坩堝設計)
全金屬密封,完全UHV兼容,測量的基礎壓力:2×10-11托。
Hydra消除了鄰近源的相互作用
獲得專利的磁性設計允許源極接近,以實現均勻的涂層和材料相互作用
每個坩堝源都是獨立水冷的,以防止蒸汽積聚
每個源坩堝有單獨的掃描線圈,確保每個源的獨立操作完整性,消除來自相鄰源的串擾干擾
可拆卸的坩堝煙囪設計,便于清理沉積物
H2O冷卻發射器底板和坩堝
有10kW或15kW兩種型號
坩堝體積尺寸:10cc、15cc、40cc(可根據要求定制尺寸)
270°光束偏轉,燈絲外殼隔離任何微粒暴露
提供動態坩堝設計
易于拆卸發射器組件的設計
Thermionics的超單熔點掃描設計(對低或高速率的最佳控制)
提供水平和垂直源法蘭安裝設計
??光束卷曲的消除
??UHV額定掃描線圈包括在電源中(200 Hz)
??消除極片
??輕松對齊燈絲
??更有效的電子準直
??最小燈絲變形
??電子尾的消除
??全封閉發射器組件防止微粒
形成
??每個熱源都是獨立水冷的
??旨在消除串擾干擾