EC系列提供高精密度定位，預(yù)裝的十字平臺控制以及預(yù)裝微米耦合，導(dǎo)軌系統(tǒng)是由堅固的碳鋼組成。

X軸：分辨率＜0.0025mm

?????重現(xiàn)性＜0.0038mm

?????后沖＜0.0038mm

Y軸：分辨率＜0.0025mm

?????重現(xiàn)性＜0.0038mm

?????后沖＜0.0038mm