特征：

• 優(yōu)化的發(fā)射極和掃掠線圈組件
• 消除極靴–垂直安裝的磁鐵可減少磁通量
• 0-200 Hz掃描，可重復，均勻蒸發(fā)，無“隧道效應”和源材料爆發(fā)
• 精確穩(wěn)定的蒸發(fā)速率低至1-2 A /秒
• 與傳統(tǒng)的蒸發(fā)源相比，具有相同的體積，蒸發(fā)速率和功率，比傳統(tǒng)蒸發(fā)源小35％
• ?提供HV [2×10?^-9?托]和UHV [2×10?^-11?托]
• 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)的理想選擇
• 提供電源，坩堝襯墊和其他配件

楷模：

• 單

  ?— 7 cc至156 cc單坩堝/ 1個發(fā)射極– 6-20 kW

• 單回轉(zhuǎn)

  ?— 7 cc至25 cc – 4坩堝/ 1發(fā)射器– 6和10 kW

• 雙胞胎™

  ?— 10 cc，15 cc，40 cc – 2個坩堝/ 2個發(fā)射器– 10和15 kW

• Triad™?

  — 10 cc，15 cc，40 cc – 3個坩堝/ 3個發(fā)射器– 6和10 kW

• 四面體

  — 10 cc，15 cc，40 cc – 4個坩堝/ 4個發(fā)射器– 6和10 kW

• Hydra-1™

  ?— 5個坩堝/ 1-3個發(fā)射器的單個陣列（有關(guān)更多詳細信息，請參見下面的Hydra描述）

• Hydra-2™

  ?—由5個坩堝/ 1-3個發(fā)射器組成的雙陣列，總共10個坩堝/ 2-6個發(fā)射器（有關(guān)更多詳細信息，請參見下面的Hydra描述）

漢克斯HM2電子槍的制造和保護受以下一項或多項專利保護：4,835,789；4,891,821；4,947,404

漢克斯HM2Hydra電子槍™

我們創(chuàng)新的HanksHM2Hydra設(shè)計包括一（1）或兩（2）個緊湊的坩堝和發(fā)射器陣列，它們相互線性平移，可以同時共沉積多達六種不同的材料。

九頭蛇配置對空間的有效利用允許六個坩堝的四（4）種不同組合，以及兩種金屬組合的多達42個排列，可在一次真空抽空中進行共沉積。

九頭蛇消除了相鄰源之間的相互作用，而無需復雜的波束方向和龐大的場分流組件。因此，共蒸發(fā)設(shè)計允許接近光源，以實現(xiàn)均勻的涂層和材料相互作用。此外，每個水源的單獨水冷卻可防止蒸汽積聚，并防止每個水源包含單獨的掃管，并提高每個水源的運行參數(shù)與相鄰水源的總體獨立性。

Hydra-1和2規(guī)格

電源：

對于10 kW型號：??6kW + e-Gun™電源

對于15 kW型號：12kW e-Gun™電源