我們的RCCS系列緊湊型e-Gun™源在安裝和維修期間可保護發射器免受損壞和短路。H?2?O冷卻系統增強了熱傳遞,從而提高了速率穩定性并防止了對電子束源的損壞。此緊湊型源設計為易于安裝。
特征
- 3 kW(最大-5 kV)電子槍電源
- 完全屏蔽的發射極
- 兼容高真空(HV)和超高真空(UHV)
- 低放氣
- 適用于薄膜和其他高精度沉積應用的高純度蒸發。
- 無光束掃描,專為金屬材料設計
- 信號源百葉窗(氣動或手動)和高壓饋通
- 直接更換K單元端口法蘭
- 坩堝觀看通道
- 緊湊型氣源可轉變為棒料氣源
技術數據
我們的RCCS系列緊湊型e-Gun™源在安裝和維修期間可保護發射器免受損壞和短路。H?2?O冷卻系統增強了熱傳遞,從而提高了速率穩定性并防止了對電子束源的損壞。此緊湊型源設計為易于安裝。
特征
技術數據