美國Thermionics, e-Gun™,操作、運動和樣品處理,樣品處理輔料,XYZ 機械手,FM 系列

FM 系列 XYZ 復合精密機械手使用兩個波紋管 – 一個大內(nèi)徑短波紋管用于 XY 運動，一個較小內(nèi)徑波紋管用于 Z 軸行程 – 與單個大型內(nèi)徑波紋管系統(tǒng)相比，可節(jié)省大量成本。

FM 系列 XYZ 復合機械手

FM 系列 XYZ 復合精密機械手使用兩個波紋管 – 一個大內(nèi)徑短波紋管用于 XY 運動，一個較小內(nèi)徑波紋管用于 Z 軸行程 – 與單個大型內(nèi)徑波紋管系統(tǒng)相比，可節(jié)省大量成本。

FM 系列將 FB 機械手系列的 XY 平臺與 EMT 精密轉(zhuǎn)換器的 Z 平臺相結(jié)合。FM 系列提供水平安裝套件，帶有定制額定的平衡彈簧，以保持“儀器”定位。Z 載物臺可以與 XY 載物臺分離。

FM 系列復合精密機械手是使用兩個波紋管的 XYZ 單元。XY 波紋管內(nèi)徑為 2.5 英寸、3 英寸和 4 英寸是標準配置，內(nèi)徑可達 6.3 英寸內(nèi)徑。這些裝置可提供 ±0.5“ 或 ±1” 的 X 和 Y 行程。它們的 Z 行程可達 36 英寸或更大，Z 波紋管內(nèi)徑為 1.39 英寸和 1.87 英寸標準。

非旋轉(zhuǎn)管狀探頭也可以在 Z 平臺的底部配備一個穩(wěn)定的線性軸承。這導致探針組件更穩(wěn)定，有效“杠桿臂”更短。

此探頭選件提供一根無心、研磨、空心、不銹鋼管，該管穿過機械手波紋管的中心。該探頭通過雙面法蘭安裝在行走法蘭上，可以很容易地拆卸以進行設備安裝。該管由安裝在 Z 行程系統(tǒng)底部的不銹鋼直線軸承穩(wěn)定。這種軸承極大地提高了探頭的穩(wěn)定性。

此外，這些機械手可以安裝差動泵旋轉(zhuǎn)密封件。它們?yōu)榭蛻舻脑O備提供了額外的旋轉(zhuǎn)自由度。可以修改探頭軸承以允許探頭極軸旋轉(zhuǎn)和極軸線性行程。該系統(tǒng)提供了一種出色的公用事業(yè)輸送方法，無需在真空中移動公用事業(yè)線路。

規(guī)格

X & Y 軸

• ±0.5“ 或 ±1” X 和 Y 行程，圓形圖案，標準
• 預緊千分尺-平臺耦合 /
• 0.0001“ 千分度大鼓刻度盤千分尺（公制千分尺可選）
• 所有 XY 軸承均可調(diào)節(jié)

Z 軸

• 2“ 至 36” Z 行程
• 齒輪箱 Acme 驅(qū)動，0.100 英寸/圈（10 圈/英寸）
• 0.001“ 分度，預緊絲杠和蝸桿軸
• 位置鎖定
• 加長背架

基座法蘭

• 6“ 外徑 UHV 底座法蘭

移動法蘭

• 2.75“ OD 移動法蘭

特征

• 硬化不銹鋼軸承和導桿貫穿始終
• 最高烘烤溫度：200°C

精度