美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,Hanks HM2 旋轉袖珍電子槍™

美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,Hanks HM2 旋轉袖珍電子槍

蒸發源

系列: 漢克斯

漢克斯 HM2旋轉袖珍 e-Gun™

旋轉式、多坩堝 e-Gun™

型號

權力

坩堝 否

坩堝體積

編號 R0607-4 6 千瓦 4 7毫升
編號 R0610-4 6 千瓦 4 10毫升
編號 R0615-4 6 千瓦 4 15毫升
R1010-4 系列 10 千瓦 4 10毫升
R1015-4 系列 10 千瓦 4 15毫升
編號 R1025-4 10 千瓦 4 25毫升

 

模塊化磁鐵

獨特的模塊化磁鐵概念被整合到旋轉口袋 Hanks HM2 e-Gun™ 設計中。這個概念使一個非常緊湊的單元成為可能(見外形圖)。Hanks HM2 的所有獨特功能都包含在此型號中。

 

Hyper-Unimelt Sweep (低速率或高速率的最佳控制)

高頻掃描 (0-200 Hz) 為用戶提供了 e-Gun™ 操作的完全靈活性。通過扭動 X-Y 掃描控制器上的旋鈕,光束的大小可以改變,以適應被蒸發的材料。這對于光學鍍膜和其他材料非常有益,其中光束尺寸在 1-2 ? 到非常高的沉積速率的最佳控制中起著重要作用。

規格

功率輸出

6 千瓦 10 千瓦
7.5 千伏 10 kV
0 至 800 mA 0 至 1.0 A

坩堝體積

7/10/15 毫升 7/10/15/25 毫升

燈絲

12 伏交流電 60A

電子束

270° 偏轉

蒸發速率

10 kW 時為 1 gm/min 

25 cm 處為 3.6 微米

光束光斑尺寸

.25“ 圓形(近似值)(光束可通過光束掃描控制器進行電動調節和定位)

坩堝

OFE 銅纜

烘烤溫度

120°C (250°F)

70 psi 時為 3.0 gpm(過濾)

最小水管尺寸

3/8“ 直徑 (6/10 kW)

壓差

最小 50 psi

X 和 Y 掃描

Hyper-Unimelt 掃描(0 至 200 Hz 以上)


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