美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,Hanks HM2 旋轉袖珍電子槍™
蒸發源
系列: 漢克斯
漢克斯 HM2旋轉袖珍 e-Gun™
旋轉式、多坩堝 e-Gun™
型號 |
權力 |
坩堝 否 |
坩堝體積 |
編號 R0607-4 | 6 千瓦 | 4 | 7毫升 |
編號 R0610-4 | 6 千瓦 | 4 | 10毫升 |
編號 R0615-4 | 6 千瓦 | 4 | 15毫升 |
R1010-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 10毫升 |
R1015-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 15毫升 |
編號 R1025-4 | 10 千瓦 | 4 | 25毫升 |
模塊化磁鐵
獨特的模塊化磁鐵概念被整合到旋轉口袋 Hanks HM2 e-Gun™ 設計中。這個概念使一個非常緊湊的單元成為可能(見外形圖)。Hanks HM2 的所有獨特功能都包含在此型號中。
Hyper-Unimelt Sweep (低速率或高速率的最佳控制)
高頻掃描 (0-200 Hz) 為用戶提供了 e-Gun™ 操作的完全靈活性。通過扭動 X-Y 掃描控制器上的旋鈕,光束的大小可以改變,以適應被蒸發的材料。這對于光學鍍膜和其他材料非常有益,其中光束尺寸在 1-2 ? 到非常高的沉積速率的最佳控制中起著重要作用。
規格
功率輸出 |
6 千瓦 | 10 千瓦 |
7.5 千伏 | 10 kV | |
0 至 800 mA | 0 至 1.0 A | |
坩堝體積 |
7/10/15 毫升 | 7/10/15/25 毫升 |
燈絲 |
12 伏交流電 60A | |
電子束 |
270° 偏轉 | |
蒸發速率 |
10 kW 時為 1 gm/min
25 cm 處為 3.6 微米 |
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光束光斑尺寸 |
.25“ 圓形(近似值)(光束可通過光束掃描控制器進行電動調節和定位) | |
坩堝 |
OFE 銅纜 | |
烘烤溫度 |
120°C (250°F) | |
水 |
70 psi 時為 3.0 gpm(過濾) | |
最小水管尺寸 |
3/8“ 直徑 (6/10 kW) | |
壓差 |
最小 50 psi | |
X 和 Y 掃描 |
Hyper-Unimelt 掃描(0 至 200 Hz 以上) |