美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,Hanks HM2 Hydra™,多發射器,多坩堝,靜態電子槍™
Hanks HM2 Hydra™,多發射器,多坩堝,靜態電子槍™
蒸發源
系列:Hanks
Hydra™ Static 系列通過有效利用空間,提供復雜的共沉積工藝和四種或更多不同材料的共蒸發。獨特的模塊化磁性設計可產生更高效的電子束。Hyper-Unimelt 200 Hz 掃蕩消除了隧道和源材料噴發。插入式發射器組件和掃描線圈組件使源更易于維護。
Hydra™ Static 系列通過有效利用空間,提供復雜的共沉積工藝和四種或更多不同材料的共蒸發。獨特的模塊化磁性設計可產生更高效的電子束。Hyper-Unimelt 200 Hz 掃蕩消除了隧道和源材料噴發。插入式發射器組件和掃描線圈組件使源更易于維護。
燈絲對準簡單,電子準直效率更高,燈絲變形最小,無需電子試驗。非常適合共蒸發!
專利:4,835,789;4,891,291;4,947,404
·同時操作六 (6) 種不同的材料(可根據要求提供額外的坩堝設計)
·全金屬密封,完全兼容 UHV,測量極限壓力:2×10-11 Torr。
·Hydra™ 消除了相鄰源的交互
·獲得專利的磁性設計允許靠近源,以實現均勻的涂層和材料相互作用
·每個坩堝源都獨立進行水冷,以防止蒸汽積聚
·每個源坩堝都有單獨的掃描線圈,確保每個源的獨立操作完整性,消除來自相鄰源的串擾推理
·可拆卸的坩堝煙囪設計,便于清潔沉積物堆積物
·H2O 冷卻發射器底板和坩堝
·提供 10kW 或 15kW
·坩堝體積尺寸:10cc、15cc、40cc(可根據要求提供定制尺寸)
·270° 光束偏轉,燈絲外殼可隔離任何顆粒暴露
·提供動態坩堝設計
·易于拆卸的發射器組件設計
·Thermionics 的 Hyper-Unimelt Sweep 設計(低速率或高速率的最佳控制)
·提供水平和垂直源法蘭安裝設計
??消除光束卷曲
??源附帶 UHV 額定掃頻線圈 (200 Hz)
??消除極片
??輕松對線
??更高效的電子準直
??最小的細絲變形
??消除電子尾
??全封閉發射器組件可防止顆粒
建設
??每個源都是獨立的水冷式
??旨在消除串擾干擾