美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , e-Gun™ – 單刀槽,HCCS 系列 Compact Source 10cc e-Gun™
HCCS 系列 Compact Source 10cc e-Gun™
蒸發(fā)源
系列：HCCS
Compact Source 10 cc 電子槍™
我們的 HCCS 系列緊湊型電源可保護發(fā)射器和 H.V. F/T 在安裝和服務(wù)過程中免受損壞和短路。H2O 冷卻系統(tǒng)增強了傳熱，從而提高了速率穩(wěn)定性并防止損壞電子束源。這種緊湊的離子源設(shè)計易于安裝。
圖為 HCCS 10 cc：
特征：
- 10 kW（最大 -6kV 至 -10kV）e-Gun 源
- 完全屏蔽的發(fā)射器和 H.V. F/T
- 兼容高真空 （HV） 和超高真空 （UHV）
- 低釋氣
- 用于薄膜和其他高精度沉積應(yīng)用的高純度蒸發(fā)。
- 無光束掃描，專為金屬材料設(shè)計
- 源快門（氣動或手動）和 HV 饋入裝置
- 緊湊型源可以轉(zhuǎn)換為 1“ 直徑的棒式饋電源
