美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , e-Gun™ – 單刀槽,HCF 系列 6 kW+ 單坩堝電槍™
HCF 系列 6 kW+ 單坩堝電槍™
蒸發(fā)源
系列：HCF
單坩堝全金屬密封高容量 e-Gun™。提供三種標準安裝配置：PyraFlat 或 CF 型法蘭、1“ 直徑螺栓型安裝或無安裝法蘭。
蒸發(fā)源
系列：HCF
HCF 系列 6 kW+ 電動噴槍™
HCF 系列 e-Gun™ 是一款單坩堝全金屬密封高容量 e-Gun。提供三種標準安裝配置：PyraFlat 或 CF 型法蘭、1“ 直徑螺栓型安裝或無安裝法蘭。
270° 光束偏轉
高容量系列 e-Gun 采用成熟的 270° 電子束偏轉系統(tǒng)。細絲隱藏在坩堝下方，不在坩堝的視線范圍內。這可以防止離子腐蝕，并最大限度地防止雜散顆粒或冷凝物引起的短路。
長壽命發(fā)射極組件
270° 電子束偏轉設計通過新的和改進的發(fā)射器組件得到了增強。
輕松更換燈絲
發(fā)射器組件設計使燈絲的拆卸或更換變得快速而簡單。細絲對準工具可保持關鍵的細絲公差，從而實現(xiàn)快速準確的細絲更換。
永磁梁定位
主梁位置由永磁體控制。電磁鐵用于精確定位和光束掃描。
兼容 UHV
金屬密封，完全兼容 UHV，測量極限壓力：2 x 10-11托。
規(guī)格
| 特征 | 規(guī)格 |
| 最大功率 | 10 千瓦 |
| 發(fā)射電壓 | -6 至 -10 kV |
| 發(fā)射電流 | 0 至 1 A |
| 燈絲 | 700 瓦 |
| 電子束偏轉 | 270° |
| 光束光斑尺寸 | .25“ 直徑，緊密橫梁 |
| 蒸發(fā)速率 | 1 克/分鐘 @ 10 kW，36,000 ?/分鐘 鋁 @ 10 英寸（250 毫米）光源到基板的距離 |
| X 和 Y 掃描 | 使用 Thermionics 掃描控制器運行時，縱向和橫向控制高達 200 Hz |
| 水 | 3 gpm，20°C，50 psi 壓差 |
| 坩堝材料 | OFE 銅纜 |
| 烘烤溫度 | 230°C （446°F） |
安裝配置
每個 e-Gun 都提供三種標準安裝配置：
- e-Gun 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上，使用標準 OFE 銅墊圈
- e-Gun 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座，可通過 1 英寸直徑的孔安裝，并由壓縮 O 形圈密封
- 單獨使用 e-Gun，無需安裝法蘭
請在下訂單時指定安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。
通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀，請致電工廠了解更多信息。
訂購信息
| 型號 | 描述 |
|---|---|
| HCF1007 | 7 cc 單坩堝 |
| HCF1015 | 15 cc 單坩堝 |
| HCF1025 | 25 cc 單坩堝 |
| HCF1040 | 40 cc 單坩堝 |
選項
發(fā)射器組件
| 型號 | 描述 |
|---|---|
| 112128-SD | 標準 |
| 112128-HD | 重型 |
| 112128-德國 | 雙絲 |
備件套件
| 型號 | 描述 |
|---|---|
| HC/ERK-SD 型 | 標準 |
| HC/ERK-HD 型 | 重型 |
| HC/ERK-DE | 雙絲 |
