RCR Series 3 kW Multiple Crucible Rotary e-Gun™
新的Thermionics研究能力系列，3 kW多坩堝旋轉e-Gun™，提供了增強的光束穩定性和高效的XY掃描，具有完整的坩堝覆蓋范圍，并可通過單獨出售的自動分度器進行自動定位。
特征
真正的XY掃掠，完全覆蓋坩堝
掃頻線圈隨電源一起提供
增強光束準直
插入式發射器模塊
增強的高穩定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅固的設計
可選自動索引器
多坩堝電子槍的工作原理與單坩堝源相同，具有以下優點：
大量的蒸發劑供應——當每個坩堝都裝有相同的源材料時，可以在一個真空循環中蒸發更多的蒸發劑。
在一個真空循環中沉積多達八種不同的材料——在單個真空循環中，可以將不同的材料放入每個坩堝中，并以任何順序沉積。沉積速率與單坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止，坩堝頭通過驅動手柄定位。因此，蒸發總是從真空室中完全相同的位置開始。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝屏蔽，從而消除了坩堝之間的污染。
高真空兼容
金屬和彈性體密封，測量的基礎壓力：2 x 10-9Torr。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部移除，而無需完全拆卸源。這種靈活性允許現場升級。
所有多坩堝電子槍都可以安裝在直徑較大的ConFlat或矩形PyraFlat法蘭上，單法蘭或背對背法蘭。
Specifications
| Operating Pressure | Below 5 x 10-5?Torr is desirable for best operation |
| Beam Voltage | 4,000 V |
| Beam Current | 0–750 mA continuously variable |
| Maximum Power | 3,000 W |
| Cooling Water | 1.5 gpm |
| Maximum Bakeout Temperature | 120°C (150°F) |
| Crucible Volume | 2.24 cc x 4, 6, or 8 crucibles |
安裝配置
每個e-Gun™都有三種標準安裝配置：
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上，該法蘭使用標準OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座，通過直徑為1”的孔安裝，并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨使用，無安裝法蘭
請在下單時指定安裝配置；成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。
Ordering Information
| Model No. | Crucibles |
|---|---|
| RCR0304-SD | 4 |
| RCR0304-BD | 4 |
| RCR0306-SD | 6 |
| RCR0306-BD | 6 |
| RCR0308-SD | 8 |
| RCR0308-BD | 8 |
