FM系列復(fù)合精??密機(jī)械手是使用兩個(gè)波紋管的XYZ單元。XY波紋管的內(nèi)徑為2.5“，3”和4“，是標(biāo)準(zhǔn)的，內(nèi)徑可以達(dá)到6.3” ID。這些單元的X和Y行程為±0.5“或±1”。它們可以提供最大36“或更大的Z行程，Z型波紋管ID為1.39”和1.87“。

非旋轉(zhuǎn)管狀探針也可以在Z級(jí)基座的底部配備穩(wěn)定的線(xiàn)性軸承。這導(dǎo)致探頭組件更穩(wěn)定，有效的“杠桿臂”更短。

該探頭選件提供了一條無(wú)心的，空心的空心不銹鋼管，該管穿過(guò)操縱器波紋管的中心延伸。該探頭通過(guò)雙面法蘭安裝在行進(jìn)法蘭上，可以輕松拆卸以進(jìn)行設(shè)備安裝。該管由安裝在Z行駛系統(tǒng)底部的不銹鋼線(xiàn)性軸承穩(wěn)定。該軸承大大提高了探頭的穩(wěn)定性。

此外，可以將差動(dòng)泵送的旋轉(zhuǎn)密封件安裝到這些機(jī)械手。它們?yōu)榭蛻?hù)的設(shè)備提供了更大的旋轉(zhuǎn)自由度。可以修改探針軸承，以允許探針極旋轉(zhuǎn)以及極軸線(xiàn)性移動(dòng)。該系統(tǒng)提供了一種出色的公用事業(yè)交付方法，而無(wú)需在真空中進(jìn)行公用事業(yè)管線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)指標(biāo)

X和Y軸

• ±0.5“或±1” X和Y行程，圓形，標(biāo)準(zhǔn)
• 預(yù)裝千分尺級(jí)耦合，
• 0.0001“微米劃分??大的鼓式千分尺（公制千分尺可選）
• 所有XY軸承可調(diào)

Z軸

• 2“至36” Z行程
• 變速箱Acme驅(qū)動(dòng)器，0.100英寸/圈（10圈/英寸）
• 0.001英寸分隔，預(yù)裝絲杠和蝸桿軸
• 位置鎖定
• 擴(kuò)展背架

基礎(chǔ)法蘭

• 6“ OD UHV基礎(chǔ)法蘭

游動(dòng)法蘭

• 2.75“外徑行進(jìn)法蘭

特征

• 整個(gè)過(guò)程中均采用硬化不銹鋼軸承和導(dǎo)向桿
• 最高烘烤溫度：200°C

精確