Thermionics 多坩堝蒸發源
Thermionics推出了我們的高容量線性e-Gun,其中包含Z系列轉換器和坩堝蒸發源。與其他運動控制系統相比,它具有成本效益且價格低廉。
HCL電子槍電動Z系列坩堝蒸發源功能:
簡單的控制特性
可靠性高且穩定
速度控制范圍(電動版)
電機壽命長
計算機PC控制
較小的致動器輪廓允許額外的源法蘭公用設施
坩堝視覺位置刻度
坩堝蒸發源技術特征:
操作壓力 | 低于5×10-5Torr是最佳操作所需的 |
額定功率 | 6.10 or 15 kW |
燈絲 | 12 VAC 60A |
最大功率 | 15 kW |
冷凝水 | 2gpm |
壓差 | 25 psi minimum |
最高烘烤溫度 | 200° C |
坩堝體積 | 7, 10, 15, 25, 40 or 75 cc |
訂購信息:
?Motor Stepper
Description | Model No. |
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-0607-X-ZST-MS |
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1010-X-ZST-MS |
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1015-X-ZST-MS |
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1025-X-ZST-MS |
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1040-X-ZST-MS |
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1575-X-ZST-MS |
Manual
Description | Model No. |
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-0607-X-ZST-M |
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1010-X-ZST-M |
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1015-X-ZST-M |
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1025-X-ZST-M |
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1040-X-ZST-M |
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1575-X-ZST-M |