美國Thermionics Hydra動態(tài)源電子槍 Hanks 蒸發(fā)源

?我們的高效Hydra動態(tài)源電子槍提供獲得專利和屢獲殊榮的模塊化磁束聚焦系統(tǒng),具有增強(qiáng)的光束準(zhǔn)直性,消除了光束卷曲。我們創(chuàng)新的Hanks Hydra 動態(tài)源電子槍設(shè)計由一或兩個緊湊的坩堝和發(fā)射器陣列組成,它們彼此線性平移,可同時提供多達(dá)六種不同材料的共沉積。

Hydra 動態(tài)源電子槍的尺寸也是標(biāo)準(zhǔn)e-Guns的2/3,而磁場效率則提升了350%。

 

Hydra 動態(tài)源電子槍主要特點(diǎn):
優(yōu)化的發(fā)射器和掃描線圈組件
消除了磁極組件,垂直安裝的磁鐵減少了磁通量
0-200 Hz 掃描,重復(fù)性好,均勻蒸發(fā),無“隧道效應(yīng)”及源材料噴發(fā)
精確穩(wěn)定的蒸發(fā)速率,最低可達(dá)1-2 A/sec
比傳統(tǒng)蒸發(fā)源小35%,在相同體積、蒸發(fā)速率和功率容量下
提供高真空(HV,2×10^-9 Torr)和超高真空(UHV,2×10^-11 Torr)版本
適合順序蒸發(fā)或共同蒸發(fā)
提供電源、坩堝襯墊及其他配件

動態(tài)源電子槍主要型號:
Single — 7 cc 至 156 cc 單坩堝 / 1 發(fā)射器 – 6-20 kW
Single Rotary — 7 cc 至 25 cc – 4 坩堝 / 1 發(fā)射器 – 6 & 10 kW
Twin™ — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 2 坩堝 / 2 發(fā)射器 – 10 & 15 kW
Triad™ — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 3 坩堝 / 3 發(fā)射器 – 6 & 10 kW
Quadra — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 4 坩堝 / 4 發(fā)射器 – 6 & 10 kW
Hydra-1™ — 單陣列 5 個坩堝 / 1-3 發(fā)射器(詳細(xì)信息見 Hydra 描述)
Hydra-2™ — 雙陣列 5 個坩堝 / 1-3 發(fā)射器,共計 10 個坩堝 / 2-6 發(fā)射器(詳細(xì)信息見 Hydra 描述)
Hanks HM2 e-Guns 受以下一個或多個專利保護(hù):4,835,789; 4,891,821; 4,947,404

Hydra動態(tài)源電子槍配置高效利用空間,支持四種不同的六個坩堝組合,以及最多42種兩金屬組合的排列,在單次真空抽氣中實(shí)現(xiàn)共沉積。

Hydra動態(tài)源電子槍消除了相鄰源之間的相互影響,無需復(fù)雜的束流方向和笨重的場屏蔽組件。因此,共蒸發(fā)設(shè)計允許源間距離接近,從而實(shí)現(xiàn)均勻涂層和材料相互作用。此外,每個源的獨(dú)立水冷卻防止蒸汽積聚,并且每個源配有獨(dú)立的掃頻線圈,確保每個源的操作參數(shù)完全獨(dú)立于相鄰源。

Hydra-1 & 2 技術(shù)參數(shù):

特征 10 kW Model 15 kW Model
最大功率 10 kW 15 kW
坩堝體積 10/15 cc 40 cc
發(fā)射電壓 10 kV 10 kV
發(fā)射電流 0 to 1.0 A 0 to 1.5 A
燈絲 700 W 700 W
電子束偏轉(zhuǎn) 220° 220°
光束光斑尺寸 0.25″ diameter 0.25″ diameter
蒸發(fā)率 (for 鋁) 1 gm/min at 10 kW 3.6 microns at 25 cm 1.5 gm/min at 15 kW 50,000 ? min
X和Y掃描 超單帶掃描(0-200Hz) 超單帶掃描(0-200Hz)
3.0 gpm/坩堝,普通回流(高達(dá)30 gpm) 3.0 gpm/坩堝,普通回流(高達(dá)30 gpm)
坩堝材料 OFE copper OFE copper
烘烤溫度 230°C (446°F) 230°C (446°F)
電子槍尺寸——單陣列 6.25″ x 5.5″ x 15″ 6.25″ x 5.75″ x 15″
電子槍尺寸——雙陣列 6.25″ x 11″ x 15″ 6.25″ x 11.5″ x 15″

電源供應(yīng):10 kW型號:10kW+e-Gun™電源; 15 kW型號:12kW e-Gun?電源


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