美國Thermionics Hanks HM2旋轉式多坩堝電子槍, 蒸發源

Hanks HM2旋轉式多坩堝電子槍

Hanks HM2旋轉式多坩堝電子槍主要型號:

Model Number

Power

Crucible No.

Crucible Volume

R0607-4 6 kW 4 7cc
R0610-4 6 kW 4 10cc
R0615-4 6 kW 4 15cc
R1010-4 10 kW 4 10cc
R1015-4 10 kW 4 15cc
R1025-4 10 kW 4 25cc

Hanks HM2旋轉式多坩堝電子槍主要特征:

模塊化磁鐵

獨特的模塊化磁鐵概念融入了旋轉口袋Hanks HM2 e-Gun™設計中。這一概念使非常緊湊的裝置成為可能(見外形圖)。Hanks HM2的所有獨特功能都包含在這款車型中。

Hyper-Unimelt掃描(低速率或高速率的最佳控制)
高頻掃描(0-200Hz)為用戶提供了e-Gun™操作的完全靈活性。通過旋轉X-Y掃描控制器上的旋鈕,可以改變光束的大小以適應蒸發的材料。這對光學涂層和其他材料非常有益,在這些材料中,光束尺寸在1-2?到非常高的沉積速率的最佳控制中起著重要作用。

Hanks HM2旋轉式多坩堝電子槍技術參數:

功率輸出

6 kW 10 kW
7.5 kV 10 kV
0 to 800 mA 0 to 1.0 A

坩堝體積

7/10/15 cc 7/10/15/25 cc

燈絲

12 VAC 60A

電子束

270? deflection

蒸發率

1 gm/min at 10 kW 

3.6 microns at 25 cm

光束光斑尺寸

0.25英寸圓形(近似)(光束可以通過光束掃描控制器進行電動調節和定位)

坩堝

OFE copper

烘烤溫度

120?C (250?F)

3.0 gpm (filtered) at 70 psi

最小水管尺寸

3/8” dia (6/10 kW)

壓差

50 psi minimum

X and Y 掃描

Hyper-Unimelt掃頻(0至200 Hz以上)

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