美國Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉電子槍?
美國Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉電子槍提供了增強的光束穩定性和高效的XY掃描,具有完整的坩堝覆蓋范圍,并可通過單獨出售的自動分度器進行自動定位。
美國Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉電子槍技術特征:
真正的XY掃掠,完全覆蓋坩堝
掃頻線圈隨電源一起提供
增強光束準直
插入式發射器模塊
增強的高穩定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅固的設計
可選自動索引器
多坩堝電子槍的工作原理與單坩堝源相同,具有以下優點:
大量的蒸發劑供應——當每個坩堝都裝有相同的源材料時,可以在一個真空循環中蒸發更多的蒸發劑。
在一個真空循環中沉積多達八種不同的材料——在單個真空循環中,可以將不同的材料放入每個坩堝中,并以任何順序沉積。沉積速率與單坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止,坩堝頭通過驅動手柄定位。因此,蒸發總是從真空室中完全相同的位置開始。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝屏蔽,從而消除了坩堝之間的污染。
高真空兼容
金屬和彈性體密封,測量的基礎壓力:2 x 10-9Torr。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部移除,而無需完全拆卸源。這種靈活性允許現場升級。
特價商品
所有多坩堝電子槍都可以安裝在直徑較大的ConFlat或矩形PyraFlat法蘭上,單法蘭或背對背法蘭。
3kW多坩堝旋轉電子槍技術參數:
操作電壓 | 為了達到最佳運行效果,最好低于5 x 10-5Torr |
光束電壓 | 4,000 V |
光束電流 | 0–750 mA?(連續可變) |
最大功率 | 3,000 W |
冷卻水 | 1.5 gpm |
最大烘烤溫度 | 120°C (150°F) |
坩堝體積 | 2.24 cc x 4, 6, or 8 crucibles |
3kW多坩堝旋轉電子槍技術特征:安裝配置
每個e-Gun™都有三種標準安裝配置:
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上,該法蘭使用標準OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座,通過直徑為1”的孔安裝,并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨使用,無安裝法蘭
請在下單時指定安裝配置;成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。
其他安裝法蘭、配置和幾何形狀可聯系上海皕赫
3kW多坩堝旋轉電子槍主要型號:
Model No. | Crucibles |
RCR0304-SD | 4 |
RCR0304-BD | 4 |
RCR0306-SD | 6 |
RCR0306-BD | 6 |
RCR0308-SD | 8 |
RCR0308-BD | 8 |